MEMS開発に向けたプロセス技術、今後の展望【Live配信セミナー】

MEMSプロセスの構築、デバイス応用事例と
今後の展望を解説！

セミナー講師

1. 東北大学　マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC) シニアリサーチフェロー 工学博士　江刺 正喜 氏
2. 早稲田大学　ナノライフ創新研究機構　研究院　教授　博士（工学） 水野 潤 氏

セミナー受講料

1名につき55,000円（税込・資料付）
〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49,500円（税込）〕

受講について

• 本講座はZoomを利用したLive配信セミナーです。セミナー会場での受講はできません。
• 下記リンクから視聴環境を確認の上、お申し込みください。
  　→ https://zoom.us/test
• 開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
  セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
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• パソコンの他にタブレット、スマートフォンでも視聴できます。
• セミナー資料はお申込み時にお知らせいただいた住所へお送りいたします。
  お申込みが直前の場合には、開催日までに資料の到着が間に合わないことがあります。ご了承ください。
• 当日は講師への質問をすることができます。可能な範囲で個別質問にも対応いたします。
• 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、
  録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
• 本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。
  複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
• Zoomのグループにパスワードを設定しています。
  部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
  万が一部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。

セミナープログラム

＜１０：３０〜１５：００＞

ＭＥＭＳ技術とそのプロセス
東北大学　江刺 正喜 氏

【講演ポイント】
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)は、半導体技術を発展させてSiウェハ上に回路だけでなくセンサや構造体あるいはアクチュエータなど多様なものを形成し、小形で高度な機能を持つ高付加価値の部品を実現する技術です。
スマホなどの部品のように大量に安価に供給されるものから、Siウェハ上でのテストに用いるプローブカードのように生産や試験に用いられるものまで多様です。
一般に多品種少量で開発がボトルネックになりますが、毎年12%程の一定の割合で売り上げが伸びてきました。
この技術では開発がボトルネックになりますので、幅広い知識や実際の試作経験などが大切です。
このようなMEMSのこれからの開発に役立てて頂きたいと思います。

1. 自動車・スマートホンなどで使われる(量産)MEMS
2. IT機器、 バイオ・医療・健康などで使われる(量産・高付加価値)MEMS
3. インフラ･安全・環境、製造･検査などで使われる(高付加価値)MEMS
4. 基本プロセス1 (パターニング、エッチング)
5. 基本プロセス2 (堆積と応力制御、接合)
6. 組合せプロセス1 (バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング 他)
7. 組合せプロセス2 (ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止)
8. ダイシング、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗例 他
9. MEMSの要素 (センサ、アクチュエータ、エネルギ源)
10. MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他

【質疑応答】

＜１５：１０〜１６：３０＞

MEMS/NEMSの最近の応用事例について
早稲田大学　水野 潤 氏

【講演概要】

我々はナノ・マイクロデバイス科学の構築に向けて、現在

• MEMS
• ナノ・マイクロ加工
• 3次元実装技術
• 表面処理技術
• フレキシブルプリンテッドエレクトロニクス

の５つの要素技術研究を行っている。

本講演ではこの５つの要素技術の紹介と、それらを用いた幾つかの応用領域である、

• マイクロ流路付き有機EL
• 3次元エレクトロニクス実装
• 先端材料
• バイオ・医療デバイス

の研究について紹介する。

【質疑応答】