【中止】近接場光による表面平滑化技術の原理・現状と今後の可能性 ～近接場光エッチングの産業応用～

・近接場光で何をしようか？近接場光なら何ができるのか？
・「原子オーダーの平滑化」、「二酸化炭素の還元」にも？

セミナー講師

 八井 崇 先生   豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 教授 博士（工学）　

■ご略歴
2000年3月 東京工業大学大学院総合理工学研究科電子システム専攻博士課程修了(博士(工学)取得)
2000年4月-2003年9月 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業(ERATO)
                                大津局在フォトンプロジェクト 研究員
2003年10月-2008年3月 科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業 継続研究課題(SORST)
                                  ナノフォトニックデバイスとシステムの開発 研究員
2008年4月-2020年3月 東京大学 大学院工学系研究科 電気系工学専攻 准教授
2020年4月-現在 豊橋技術科学大学 大学院工学研究科 電気・電子情報工学系 教授

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名41,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき30,800円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbps以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、 Zoomでカメラ・マイクが
  使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」

セミナー趣旨

  近接場光はナノ寸法に局在する光です。この講演では、近接場光について長年研究を行ってきた講師が、その原理から応用までの詳細を説明します。応用例として、近年多くの分野で懸念事項となっている、表面平滑化を取り上げます。近接場光エッチングは、講師が世界に先駆けて開発した技術で、この技術を用いた原子オーダーでの平滑化について、様々な材料や形状に関する事例をご説明いたします。

受講対象・レベル

・半導体プロセス技術に従事している方
・表界面の平滑化に取り組んでいる方
・ナノ加工、微細加工技術に従事している方
・近接場光技術に興味をお持ちの方
・光加工技術・光応用技術の研究開発に従事している方 等

必要な予備知識

■YouTube動画とラジオインタビュー：本セミナーの導入として
・YouTube動画：講師の研究グループ紹介動画
・ラジオ番組「天伯之城 ギカダイ」エフエム豊橋(84.3MHz)
　タイトル：「ナノ光イノベーションの研究」（mp3）

習得できる知識

・近接場光の基礎知識
・近接場光による波長変換の原理
・近接場光エッチングの研究事例
・近接場光加工の今後の可能性　等

セミナープログラム

1.近接場光の原理：非一様光場の解説から
　1.1 非一様光場の原理：非一様光場とは何か
　1.2 非一様光場による高次高調波発生
　1.3 非一様光場による多段階遷移
　1.4 非一様光場による波数励起
　1.5 現在考えられている近接場光の制御技法
2.近接場光加工の応用展開
　2.1 表面平滑化
　　2.1.1 堆積による表面平滑化
　　2.1.2 エッチングによる表面平滑化
　　　2.1.2.1 半導体プロセスにおけるエッチングへの適用検討：課題と可能性
　2.2 二酸化炭素還元
　　2.2.1 近接場光援用二酸化炭素還元の高効率化
　　2.2.2 ナノ構造による二酸化炭素還元の事例
　　2.2.3 金属錯体を介した二酸化炭素還元の事例
　2.3 環境応用展開
　　2.3.1 近接場光援用水の浄化
　2.4 高効率光検出器
　　2.4.1 波数励起による間接遷移半導体の高効率励起
　　2.4.2 波数励起によるシリコン光検出器の高効率化
3.近接場光加工の今後の展望
   3.1 大面積化・高速化の可能性
　3.2 近接場光加工の医療分野への展開
4.近接場光を巡るよくある質問・話題
　4.1 「従来の機械研磨技術と比較すると、どのような利点・ポテンシャルがあるのでしょうか？」
　4.2 「適用できる材料・形状にはどのようなものがありますか？　何か制限はありますか？」
　4.3 「近接場光技術の産業化・生産実用化のための課題は主に何でしょうか？」
　4.4 「近接場光が発生する条件は何かあるのでしょうか？」
＜質疑応答＞