半導体デバイス設計入門~Excel演習付き~
開催日 | 10:30 ~ 16:30 |
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主催者 | (株)R&D支援センター |
キーワード | 半導体技術 電子デバイス・部品 |
開催エリア | 全国 |
開催場所 | 【WEB限定セミナー】※会社やご自宅でご受講下さい。 |
※本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです。会場での参加はございません。【アーカイブ配信:2/3~2/17(何度でも受講可能)】での受講もお選びいただけます。
セミナー講師
駒形技術士事務所 研究開発部 所長 駒形 信幸 氏【専門】半導体デバイス【略歴】・日本技術士会正員・応用物理学会正員(フォト二クス分科会、応用電子物性分科会、薄膜・表面物理分科会、結晶工学分科会、超電導分科会、有機分子・バイオエレクトロニクス分科会、プラズマエレクトロニクス分科会、シリコンテクノロジー分科会、先進パワー半導体分科会所属)・電子情報通信学会正員(基礎・境界ソサイエティ、通信ソサイエティ、エレクトロニクスソサエティ、情報システムソサイエティ、ヒューマンコミュニケーショングループ所属)
セミナー受講料
55,000円(税込、資料付)■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合49,500円、 2名同時申込の場合計55,000円(2人目無料:1名あたり27,500円)で受講できます。(セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、 今回の受講料から会員価格を適用いたします。)※ 会員登録とは ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。 すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。 メールまたは郵送でのご案内となります。 郵送での案内をご希望の方は、備考欄に【郵送案内希望】とご記入ください。
受講について
Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順
- Zoomを使用されたことがない方は、こちらからミーティング用Zoomクライアントをダウンロードしてください。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。
- セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。
- 開催日直前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加ください。
- セミナー資料は開催前日までにPDFにてお送りいたします。
- アーカイブの場合は、配信開始日以降に、セミナー資料と動画のURLをメールでお送りします。
- 無断転載、二次利用や講義の録音、録画などの行為を固く禁じます。
セミナー趣旨
最新のMOSトランジスタ開発は、高速化・高集積化を追求し、従来のプレーナ型から3次元構造のFinFETやナノシートFETへと進んでいます。これらの3次元構造のMOSFETの開発や設計は、コンピューターシミュレーションを使用して行われるようになってきました。しかし、これらのシミュレーションにおいても、パラメータの設定には、従来のプレーナ型MOSFET設計やバイポーラトランジスタで培った半導体知識が必要です。半導体デバイスの学習は、どうしても数式の導出や羅列が多く、学習意欲が損なわれがちです。そのため、半導体特性計算のコツや半導体物理の基礎、PN接合、MOS構造、MOSトランジスタの特性について、MS Excelを使った計算演習を通じて数値的な実感を持ってもらいます。また、なぜCMOSが使われるのかという基礎的な理解にも言及し、従来形のMOSFETから最新のMOSFET開発への橋渡しを行います。
受講対象・レベル
半導体デバイス開発・設計の実務に携わる若手および中堅技術者の方
必要な予備知識
MS Excelの基本操作が出来ること。
習得できる知識
半導体デバイス開発・設計のための基礎知識が習得できる。
セミナープログラム
1.半導体基礎 1-1.結晶構造と結晶方位 1-2.CGS単位とSI単位、物理定数 1-3.シリコンの定数
2.電子の運動とバンド構造 2-1.電子の運動 (1)粒子と波動 ①スリットと干渉 ②金薄膜の回折 2-2.エネルギー準位の量子化 (1)ボーアの水素原子模型 (2)バンド構造 (3)結晶のバンド構造 ①状態密度関数 ②パウリの排他則とフェルミ‐ディラック分布 1)パウリの排他則 2)フェルミ‐ディラック分布 ●フェルミ準位とは 3)キャリアのエネルギー分布 2-3.各種固体のバンド構造 (1)金属 (2)半導体 (3)絶縁体 2-4.半導体のエネルギー準位図 (1)各種バンドの表し方 ①エネルギーと位置 ②エネルギー分布と位置 ③エネルギーと波数k (2)真性半導体 (3)N形半導体 (4)P形半導体
3.キャリアの運動 3-1・ドリフトと拡散 (1)ドリフト移動度 (2)キャリアの拡散 (3)アインシュタインの関係式とキャリアの拡散長 (4)演習①(キャリアの拡散長計算)
4.PN接合 4-1.PN接合のバンド構造 4-2.PN接合の電流-電圧特性 (1)計算式 (2)演習②(飽和電流の計算等) 4-3.空乏層の拡がり (1)階段接合 (2)傾斜接合 (3)演習③(空乏層の拡がり計算)
5.不純物濃度の求め方 5-1.キャリア濃度から 5-2.体積抵抗率とキャリア濃度の関係グラフ (1)演習④(不純物濃度の求め方演習) 5-3.ドーズ量と接合深さから 5-4.一般的な文献値から
6.MOS素子基本特性 6-1.MOS構造 6-2.ゲートバイアスと反転層の形成 (1)電荷蓄積層の形成 (2)空乏層の形成 (3)反転層の形成 (4)演習⑤(しきい値電圧計算)
7.MOSトランジスタ 7-1.MOSトランジスタ電流-電圧の関係式 7-2.MOSトランジスタの閾値電圧の計算方法 (1)計算式 (2)調整方法 (3)演習⑥(イオン注入によるしきい値電圧調整) 7-3.耐圧 (1)ブレークダウン耐圧 ①アバランシェ降伏(なだれ降伏) ②ツェナー降伏 ③アバランシェ降伏とツェナー降伏の温度特性 (2)階段接合(無限大平面の場合)のブレークダウン電圧 (3)空乏層の伸びとブレークダウン電圧の関係 (4)コーナーRがある場合 (5)演習⑦(ブレークダウン電圧の計算) 7-4.アイソレーションと寄生MOS (1)寄生MOSのしきい値電圧とチャネルストッパー (2)計算式 (3)演習⑧(寄生 MOSのしきい値電圧の計算)
8.CMOSについて 8-1.CMOS回路の特徴 8-2.CMOS回路の実際 8-3.CMOSプロセスと構造
9.最新構造のMOSトランジスタへのアプローチ
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