半導体用レジストの基礎と材料設計および環境配慮型の新規レジスト除去技術

～レジストの特性や光化学反応、評価手法、EUVレジストや化学増幅型レジストなどを丁寧に解説～

■半導体やレジスト材料を扱う技術者・研究開発者・製造販売担当者におすすめのセミナー  レジスト材料（感光性樹脂）やプロセスの基礎から、ノボラック系ポジ型レジストおよびEUVレジストの材料設計、感度や解像度の向上技術、水素ラジカル・湿潤オゾン・マイクロバブル水を活性種として用いた環境に配慮したレジスト剥離技術までを分かりやすく解説します。 また、デバイスメーカー出身の講師視点から、レジストメーカーに原料を提供する素材メーカーにおける具体的なレジスト評価法についても詳しく解説します。 是非この機会にお役立てください。

日時

【Live配信】 2025年2月20日（木）  10:30～16:30【アーカイブ配信】 2025年3月5日（水）  まで受付(視聴期間：3/5～3/18）  受講可能な形式：【Live配信】or【アーカイブ配信】のみ

セミナー講師

大阪公立大学　学長特別補佐大学院工学研究科　物質化学生命系専攻　化学バイオ工学分野　高分子化学研究グループ　教授博士(工学)　堀邊 英夫　氏　[ご専門] 高分子物性（フィラー分散高分子の電気特性、PVDFの結晶構造制御、レジスト材料・プロセス、活性種とポリマーとの反応性）

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

55,000円( E-mail案内登録価格52,250円 )E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料2名で 55,000円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額27,500円)

【1名分無料適用条件】※2名様ともE-mail案内登録が必須です。※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】1名申込みの場合：受講料 44,000円(E-Mail案内登録価格 42,020円 )※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。※他の割引は併用できません。

受講について

ZoomによるLive配信　►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）アーカイブ配信　►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）

配布資料

• 製本テキスト(開催日の4、5日前に発送予定)※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、　セミナー資料の到着が開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。　Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。

セミナー趣旨

受講対象・レベル

・レジスト材料・プロセスの研究や開発に関わる方・レジスト除去（剥離）技術の研究や開発に関わる方・半導体、ディスプレイ、MEMSなどのデバイス開発、製造、販売に携わる方・レジストメーカー、およびレジストメーカーに原料を提供する素材メーカーの方

習得できる知識

・レジストを製造するための基礎知識、材料設計指針・レジストを使用する際の留意事項・リソグラフィープロセスについて・素材メーカー、レジストメーカーとしてのデバイスメーカー対応能力・レジスト材料（ノボラック系ポジ型レジスト、化学増幅型レジスト）・レジスト評価法について                                                                  ・レジスト除去（剥離）技術について

セミナープログラム