スパッタリング・真空蒸着 ～基本知識とトラブル対策～

成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方に向けて、大切なポイントを具体的に、分かりやすく解説します。

セミナー講師

 岩村 栄治 先生   ペルノックス株式会社 開発統括部 開発センター長 工学博士

【略歴】
１９９０年　東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻）
２０００年　工学博士　（東京大学）
１９９０年～２００１年　（株）神戸製鋼所　技術開発本部　研究員
１９９４年～１９９６年　スタンフォード大学材料科学工学科　客員研究員
２００２年～２００５年　科学技術振興機構　さきがけ研究２１　個人研究者
２００５年～　荒川化学工業株式会社　(2013～ペルノックス株式会社)
【専門】
機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価
【本テーマ関連学協会での活動】
受賞：日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
著書：「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」　（情報機構）

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名52,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）。
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」

セミナー趣旨

  本セミナーでは、スパッタや真空蒸着によって無機・金属薄膜を形成する場合に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、（1）一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→（2）その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→（3）成膜や特性改善に関する具体例を使ったより詳しい解説、という順で平易に説明します。主にスパッタ膜を取り上げますが、成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、膜応力・密着力の評価方法と材料設計への活かし方に至る技術を、広く活用していただけるよう解説します。現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。

受講対象・レベル

・スパッタ・真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
・中堅製品・プロセス開発技術者
・成膜品検査や品質管理に関わる技術者

習得できる知識

・成膜と薄膜形成の基礎知識
・膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
・膜応力や密着力の評価方法と管理の基礎知識

セミナープログラム

Ｉ．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい
   ●成膜形成プロセスと膜質制御をおこなう際の注目点
　●スパッタと真空蒸着の違い
　●成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
　●薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
　●膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜プロセスの最適化で注意したいポイント
II．膜の均一性・均質性を制御したい
   ●プラズマとプラズマ評価についての基礎知識
　 　 ・プラズマとは
　　　・プラズマ状態の評価方法
　　　・プラズマ特性と電子エネルギー分布関数
　　　・イオン／高エネルギー照射現象とその影響
　　　・イオン照射と残留応力の関係：Davisモデル
　 ●膜質制御の具体例
　　　・段差被覆性の改善
　　　・a-C膜にみるプラズマパラメータと微細構造との関係
　　　・膜質の不均一性：プラズマの影響
　　　・プラズマ影響による局所的な密着力低下
　　　・磁場制御による比抵抗分布の均一化　　　
Ⅲ．膜応力を低減したい
    ●膜応力が原因となった不具合とその対策の具体例
　 ●応力発生メカニズムと応力制御のための基礎知識
　 ●膜応力の制御と評価方法の具体例
　　　・多層膜やパターニングされた薄膜の応力で注意する点
　　　・膜応力の評価手法のポイント
Ⅳ．密着力を良くしたい
    ●よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
　 ●剥離対策に必要な基礎知識
　　　・基板と薄膜の界面をしっかり観察する
　　　・密着力の本質的意味
　　　・密着と粘着／接着との違い
　 ●膜剥離を理解し対処するための３つのポイント
　　　・膜の剥離原因/負荷条件による剥離/破壊のモードの違い
　　　・剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
　　　・剥離の形態とそこから読み取れる密着不良をおこした要因
　 ●密着性改善の考え方
　　　・密着性改善のための具体的な対策
　　　・スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方
Ⅴ．まとめ