薄膜技術の基礎と応用（薄膜技術の高度化と素材・デバイスへの応用）

セミナー趣旨

薄膜は真空技術を活用した成膜技術で、半導体や電子部品をはじめとして工具や金型、建材や窓ガラスなど、様々な分野で活用されています。
本講座は、真空技術を活用した薄膜の基本を理解し、技術の活用に必要な知識を身に付けるための講座です。経験豊富な専門家が、豊富な事例を用いて解説します。薄膜に関する業務の入門教育にも、薄膜の技術開発に取り組む方にも大変おすすめです。

各項に演習問題を設けていますので、学習内容を振り返りながら実践力を養うことができます。

講座は３回のステップになっています。
第１回は、薄膜に関する基礎知識を解説します。
第２回は、薄膜の設計と機能評価・モニタリング技術を解説します。
第３回は、薄膜技術の高度化と素材・デバイスへの応用を解説します。

受講対象・レベル

• 薄膜技術に関わる若手～中堅の技術者・研究者

• 半導体、電子部品の産業の若手～中堅の技術者・研究者

• 薄膜に関連した業務に携わる方

   

必要な予備知識

• 特になし

習得できる知識

• 薄膜技術の基本から実践技術までを学べます。

セミナープログラム

第１回　薄膜に関する基礎知識 （01:44:27）はコチラ

1.1　薄膜とは何か ～定義、機能～（00:13:58）
1.2　薄膜の成長過程（00:10:27）
1.3　真空・プラズマ技術の基本（00:16:45）
1.4　真空蒸着法の原理（00:12:27）
1.5　スパッタリング法の原理（00:13:34）
1.6　CVD（化学的気相成長）法の原理（00:14:28）
1.7　液相系薄膜形成法の原理（00:06:39）
1.8　新しい薄膜形成技術の原理（00:05:14）
1.9　薄膜の前処理と後工程（00:11:01）

第２回　薄膜の設計と機能評価・モニタリング技術 （01:54:15）はコチラ

2.1　薄膜の設計・開発の進め方（00:31:46）
2.2　薄膜の膜厚測定、膜厚の均一化（00:10:09）
2.3　薄膜の光学特性の測定、高度化および安定化（00:10:01）
2.4　薄膜の電気特性の測定、高度化および安定化（00:14:35）
2.5　薄膜プロセスのモニタリング手法（00:10:42）
2.6　薄膜の組織観察、成分分析法（00:07:01）
2.7　膜硬度、表面物性、応力、結晶構造の評価（00:09:11）
2.8　外観不良・微小欠陥の検査と改善法（00:11:12）
2.9　密着性・信頼性の評価と改善法（00:09:35）

セミナー講師

【講師名】
大薗　剣吾 氏

【肩書】
技術士事務所ソメイテック　所長

【保有資格】

技術士（金属部門）、応用情報技術者

【専門分野】 
①技術士の中でも数少ない「薄膜の専門家」です。コーティング・パターニング・表面処理の課題に対応します。
②FPD、半導体、車載、医療、住環境、IoT、通信等への「固有技術の用途開発」を行います。

【略歴】 

2005年3月　 東京大学大学院工学系研究科卒業
2005年4月～　 凸版印刷　エレクトロニクス事業部等
2016年10月～　技術士事務所ソメイテック

【業績】 
・光学レンズ金型開発　切削、電鋳
・液晶バックライトシート開発　UV成形、シート貼合
・液晶ITO開発　フォトリソグラフィ、スパッタリング
・半導体マスク開発、スパッタリング、電子線リソグラフィ
・光学フィルム開発　材料設計、グラビア、ドライラミ、真空蒸着
・デバイス関連開発支援　コーティング、成形、貼合

セミナー受講料

13,750円（税込）

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受講について

【このセミナーはオンデマンドセミナーです】
ネット環境さえあれば、お好きな場所、お好きな時間に受講できます！

• 視聴期間は受講開始日より２週間です。
• セミナー資料はPDFでDLできます。
• タブレットやスマートフォンでも視聴できます。