【オンデマンド配信】<半導体デバイス向けプラズマ装置による高品質成膜へ>プラズマCVD(化学気相堆積)装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応

49,500 円(税込)

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開催日 オンデマンド
主催者 サイエンス&テクノロジー株式会社
キーワード プラズマ技術   薄膜、表面、界面技術   半導体技術
開催エリア 全国

■装置メーカーの立場から、プラズマCVD装置の技術/課題と対策を解説■ 

  30年以上の実績・経験がある装置メーカーから、実務レベルで解説いたします!

 

日時

2024年10月30日(水)23:59まで申込み受付中/【収録日:2024年5月22日】視聴期間:申込日から10営業日後まで(期間中は何度でも視聴可)

セミナー講師

SPPテクノロジーズ(株)製造部 次長 兼 生産管理グループ長 兼 マーケティング部 マネジャー 金尾 寛人 氏【略歴】1989年3月 名古屋工業大学 工学部 第一部 電気情報工学科を卒業.1989年4月 住友金属工業(株)に入社.Si基板上GaAs膜のヘテロエピタキシー成膜技術の研究開発(1年)や半導体デバイス向けECRプラズマ装置による成膜、エッチング技術の研究開発及び商品開発(10年)2000年4月 住友精密工業(株)に入社(派遣、2002年3月転籍、2011年12月にSPPテクノロジーズに出向)MEMSや光デバイス向けプラズマ装置による成膜、エッチング技術の研究開発及び商品開発(3年半)装置全般の技術営業、マーケティング(現在)【経歴・研究内容・専門・活動】1989年3月 名古屋工業大学 工学部 第一部 電気情報工学科を卒業.1989年4月 住友金属工業(株)に入社.Si基板上GaAs膜のヘテロエピタキシー成膜技術の研究開発(1年)や半導体デバイス向けECRプラズマ装置による成膜、エッチング技術の研究開発及び商品開発(10年)2000年4月 住友精密工業(株)に入社(派遣、2002年3月転籍、2011年12月にSPPテクノロジーズに出向)MEMSや光デバイス向けプラズマ装置による成膜、エッチング技術の研究開発及び商品開発(3年半)装置全般の技術営業、マーケティング(現在)

セミナー受講料

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【1名分無料適用条件】※2名様ともE-mail案内登録が必須です。※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】1名申込みの場合:受講料( 定価:37,400円/E-mail案内登録価格 35,640円 )※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。※他の割引は併用できません。

受講、配布資料などについて

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配布資料

  • PDFテキスト(印刷可)
  • 講師メールアドレスの掲載:有

その他注意事項※オンライン配信セミナーの録音・撮影、複製は固くお断りいたします。※講師の所属などは、収録当時のものをご案内しております

セミナー趣旨

当社は、1989年から「研究開発用半導体一貫製造システム」の開発を開始して、装置メーカーとして、30年以上の実績・経験があります。この講演では、プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策を中心にご紹介いたします。

習得できる知識

プラズマCVD装置に関して、開発してきた技術や課題と対策について知ることができます。

セミナープログラム

1.プラズマCVD装置の基本構造 1.1 プラズマCVD装置の構成 1.2 反応チャンバーの基本構成2.プラズマCVD装置の用途 2.1 適用アプリケーション3.プラズマCVD装置のプロセス性能 3.1 SiH4系SiO2膜 3.2 SiH4系SiN膜 3.3 SiH4系SiON膜 3.4 SiH4系a-Si膜 3.5 SiH4系SiC膜 3.6 TEOS系SiO2膜 3.7 液体ソース系SiN膜4.開発用装置と量産用装置 4.1 プラットフォーム5.プラズマCVD装置の課題と対策 5.1 高レート化 5.2 プロセスの再現性 5.3 低パーティクル 5.4 チャンバークリーニング 5.5 ウェーハ温度の低温化 5.6 ウェーハ大口径化  など■Q&A■ このセミナーに関する質問に限り、講師とメールにて個別Q&Aをすることができます。 具体的には、セミナー資料に講師のメールアドレスを掲載していますので、セミナーに関する質問がございましたら 直接メールでご質問ください。 (ご質問の内容や時期によっては、ご回答できない場合がございますのでご了承下さい)。