高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術

～分子設計・合成方法と最新型EUV用レジスト材料の研究動向～

< EUV用レジスト材料など更なる高感度化が求められる新規レジスト材料の開発
メタルレジスト、化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト材料…
EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料の合成・設計・開発
高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説

 

日時

【ライブ配信】 2024年12月17日（火）  10:30～16:30
【アーカイブ配信】 2025年1月7日（火）  まで受付(視聴期間：1/7～1/21）
  受講可能な形式：【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ

セミナー趣旨

フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、露光システムに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線（EUV）露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。

受講対象・レベル

レジスト材料の開発に関する研究にご興味がある方

習得できる知識

レジスト材料の合成方法、評価方法、開発方法

セミナープログラム

1．レジスト材料
　1.1 原理
　1.2 合成例
　1.3 最新の化学増幅型

2．ポジ型レジスト材料
　2.1 材料的な特性
　2.2 主な応用・用途

3．ネガ型レジスト材料
　3.1 材料的な特性
　3.2 主な応用・用途

4．高分子レジスト材料と低分子レジスト
　4.1 材料的な特性
　4.2 主な応用・用途

5．EUV用レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
　5.1 レジスト材料の評価項目，評価手法について
　5.2 レジスト材料の評価方法と開発例

6．最新型EUV用レジスト材料
　6.1 メタルレジスト
　6.2 化学増幅型レジストと非化学増幅型レジスト材料

7. 質疑応答

セミナー講師

関西大学　化学生命工学部　化学・物質工学科　教授　博士（工学） 工藤 宏人　氏

略歴
2000年3月　東京工業大学大学院 総合理工学研究科 物質電子化学専攻 博士後期課程 修了 博士（工学）
2000年4月　山形大学大学院 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー 講師（中核的研究機関研究員）
2000年4月　神奈川大学 助手（工学部 応用化学科）
2007年4月　神奈川大学 助教 （工学部 物質生命化学科）
2009年4月　神奈川大学 准教授（工学部 物質生命化学科）
2012年4月　関西大学 准教授 (化学生命工学部 化学・物質工学科)
2016年4月　関西大学 教授 (化学生命工学部 化学・物質工学科) 　現在に至る。
専門
高分子合成、有機合成、様々な形状の高分子を合成し、機能性材料へ応用する研究を主とする。他に、極端紫外線レジスト材料への合成研究も主としている。
研究・業務
高屈折率、低屈折率材料の開発…2005年頃～現在に至る。
その他 所属・役職
高分子学会、日本化学会、有機合成化学協会

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

55,000円( E-mail案内登録価格52,250円 )
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2名で 55,000円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額27,500円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

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1名申込みの場合：受講料 41,800円(E-Mail案内登録価格 39,820円 )
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受講、配布資料などについて

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アーカイブ配信　►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）

配布資料

  • 製本資料（開催日の4、5日前に発送予定)）
    ※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
    　開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。

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開催日時


10:30 ～

受講料

55,000円（税込）/人

※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

※銀行振込 または、当日現金でのお支払い

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全国

主催者

キーワード

高分子・樹脂材料   電子材料
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