高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術
開催日 | 10:30 ~ 16:30 |
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主催者 | サイエンス&テクノロジー株式会社 |
キーワード | 高分子・樹脂材料 電子材料 |
開催エリア | 全国 |
開催場所 | Zoomを利用したオンライン講座 |
~分子設計・合成方法と最新型EUV用レジスト材料の研究動向~
< EUV用レジスト材料など更なる高感度化が求められる新規レジスト材料の開発 メタルレジスト、化学増幅型レジスト、非化学増幅型レジスト材料… EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料の合成・設計・開発 高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説
日時
【ライブ配信】 2024年12月17日(火) 10:30~16:30【アーカイブ配信】 2025年1月7日(火) まで受付(視聴期間:1/7~1/21) 受講可能な形式:【ライブ配信】or【アーカイブ配信】のみ
セミナー講師
セミナー受講料
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受講、配布資料などについて
ZoomによるLive配信 ►受講方法・接続確認(申込み前に必ずご確認ください)アーカイブ配信 ►受講方法・視聴環境確認(申込み前に必ずご確認ください)
配布資料
- 製本資料(開催日の4、5日前に発送予定))※開催まで4営業日~前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、 開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
セミナー趣旨
受講対象・レベル
レジスト材料の開発に関する研究にご興味がある方
習得できる知識
レジスト材料の合成方法、評価方法、開発方法