PFAS規制の動向と半導体産業へ影響【オンデマンド配信】

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開催日 オンデマンド
主催者 サイエンス&テクノロジー株式会社
キーワード 化学技術一般   環境規格   半導体技術
開催エリア 全国

~半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況~

いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物(PFAS)強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、今後与えるのか 現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説 半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、

 

日時

2024年12月26日(木)まで申込み受付中/※映像時間:約2時間43分/収録日時:2024年8月30日視聴期間:主催者でお申込み受付後、10営業日(期間中は何度でも視聴可)

セミナー講師

(株)ISTL 代表取締役社長 博士(工学) 礒部 晶 氏略歴1984年-2002年 NECにてLSI多層配線プロセス開発 2002年-2006年 東京精密(株)にて執行役員CMPグループリーダー2006年-2013年 ニッタハースにて研究開発GM2013年-2015年 (株)ディスコにて新規事業開発2015- (株)ISTL

セミナー受講料

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【1名分無料適用条件】※2名様ともE-mail案内登録が必須です。※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。※3名様以上のお申込みの場合、1名あたり定価半額で追加受講できます。※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。 (申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。)※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】1名申込みの場合:受講料37,400円( E-Mail案内登録価格 35,640円) ※1名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。※他の割引は併用できません。

受講、配布資料などについて

オンデマンド配信の受講方法・視聴環境確認

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配布資料

  • PDFテキスト(印刷可)
  • 講師メールアドレスの掲載:有

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セミナー趣旨

 有機フッ素化合物(PFAS)の規制がますます強まっており、一般のニュースでも目にすることが多くなった。PFASとはどういう物質で、どのような性質を持ち、なぜ規制されるのかについて解説する。また、ストックホルム条約(POPs条約)および各国の規制動向についても解説する。半導体製造にも様々な工程でPFASが用いられている。それぞれの工程の内容となぜPFASが用いられているかを解説する。また、強まる規制に対して、装置・材料メーカーやデバイスメーカーが、どのように対応が行われているかについても述べる。

セミナープログラム

1.PFASとは 1-1 PFAS関連のニュース 1-2 PFASの種類と性質 1-3 PFASの用途2.PFAS規制の動向 2-1 POPs条約 2-2 日本の規制動向 2-3 欧州の規制動向 2-4 米国の規制動向3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程) 3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎 3-2 リソグラフィー 3-3 ウエットエッチング 3-4 ドライエッチング 3-5 配管材料等4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程) 4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎 4-2 テープ・フィルム類 4-3 モールド材 4-4 基板層間膜5.PFAS処理と代替材料の動向 5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響 5-2 廃液処理の現状 5-3 PFASの分析方法 5-4 代替材料開発動向 5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況 6.まとめ