リソグラフィ技術の基礎およびEUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望

セミナー趣旨

習得できる知識

・リソグラフィの物理・評価技術
・半導体プロセス技術
・半導体デバイス技術

セミナープログラム

セミナー講師

東京大学　大学院新領域創成科学研究科・特任助教　藤原 弘和　氏
＜経歴＞
1991年、岡山県生まれ。2019年に岡山大学にて博士号（理学）を取得。
同年、東芝メモリ株式会社（現 キオクシア株式会社）入社。
同社メモリ技術研究所デバイス技術研究開発センター配属。
2021年より東京大学物性研究所附属極限コヒーレント光科学研究センター特任研究員
を経て、2024年より同大学大学院新領域創成科学研究科特任助教に着任。
光電子分光・顕微鏡を活用した半導体デバイスおよび材料開発を専門とし、
産学連携による先端分析技術の社会実装にも取り組む。

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )
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2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額24,750円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
 1名申込みの場合：受講料39,600円（E-Mail案内登録価格 37,840円）　
　定価：本体36,000円＋税3,600円　E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。

受講について

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配布資料

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