計算化学を用いたエッチングガスの一次解離過程と新規ガスの開発

セミナー趣旨

セミナープログラム

１．プラズマ生成の基礎
　・今後の課題…負イオンおよびラジカルの計測とプラズマシミレーション
　・負イオンは無視してよいか?

２．計算化学の概要
　・計算方法の種類：密度汎関数法とab initio法
　・各種計算方法の優位性　

３．計算化学で明らかになったプロセス
　・Siエッチングにおける酸素及び窒素添加効果
　・ゲート付近に残留したSiO2のダメージレス化学エッチング
　・イオン及びラジカルの生成機構と選択比
　・気相中の電荷交換、表面からの脱離反応、負イオン放出

４．計算化学で明らかになった一次解離過程と生成物
　・メタン系フッ化物　
　・エタン系フッ化物　　
　・C3F6, C3F8,C4F6, c-C4F8,c-C5F8

５．計算化学から得られた知見により開発されたエッチング技術
　・窒化膜の高選択比エッチング
　・NO + F2 →　FNO + F 等の化学反応

６．計算化学から見た新規エッチングガスの提案
　・CxHyFz化合物
　・その他の化合物(CF3NO,CF3NH2,SiH4 他)

７．計算化学から見た今後の研究課題
　・負イオン形成機構と計測技術およびその役割
　・計算化学から得られたデータを基にした断面積の見積もり

　※セミナーの進行具合によって講演項目は一部省略することがあります。

セミナー講師

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

55,000円 ( E-Mail案内登録価格 52,250円 )
定価：本体50,000円＋税5,000円
E-Mail案内登録価格：本体47,500円＋税4,750円

E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で55,000円 (2名ともE-Mail案内登録必須​／１名あたり定価半額の27,500円)

テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】
1名申込みの場合：受講料 44,000円(E-Mail案内登録価格 42,020円 )
　定価：本体40,000円＋税4,000円
　E-Mail案内登録価格：本体38,200円＋税3,820円
※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※他の割引は併用できません。

＜1名分無料適用条件＞
※2名様ともE-mail案内登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

受講について

ZoomによるLive配信　►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）
アーカイブ配信　►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）

配布資料

• 製本テキスト(開催日の4、5日前に発送予定)
  ※開催まで4営業日～前日にお申込みの場合、セミナー資料の到着が、
  　開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
  　Zoom上ではスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
• PDFテキスト(印刷不可・編集不可)
  ※開催2日前を目安に、弊社HPのマイページよりダウンロード可となります。