プラズマによる表面改質技術の基礎と応用

セミナー趣旨

　近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズが益々の拡大される中、従来主流とされた有機溶媒や触媒を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。
　本講座では、最近注目されている各種ドライプロセスの中で、プラズマによる表面改質に注目し、プラズマ照射により材料表面で生じている現象や界面化学の観点による解説から、各種材料（金属、ポリマー等）の表面改質や機能性発現技術の基礎から応用について解り易く解説する。また、講義では単なる一方向的な講義ではなく、受講者からの質問に対して、その都度答える双方向の講義としたい。

習得できる知識

・プラズマによる表面改質の原理
・プラズマ表面改質効果の経時変化とその原理
・プラズマ表面改質による発現可能な機能性
・プラズマ表面改質技術の適応範囲の広さと応用例

セミナープログラム

1．プラズマによる表面改質の原理
　1-1．プラズマ状態について
　1-2．プラズマによる表面改質メカニズム
　1-3．表面改質条件による表面状態
　1-4．各種表面改質特性について

2．表面科学・界面化学と濡れ性
　2-1．表面・界面
　2-2．気体と液体の界面
　2-3．気体と固体の界面
　2-4．液体と固体の界面
　2-5．濡れ性について
　2-6．ウエット工程の前処理の考え方

3．親水性表面処理
　3-1．各種材料に於ける親水性処理について
　3-2．真空プラズマによる親水性処理のプロセスについて
　3-3．大気圧プラズマによる親水性処理のプロセスについて
　3-4．親水性表面の機能性と応用について

4．撥水性表面処理
　4-1．撥水親油性処理と撥水撥油性処理について
　4-2．撥水性処理プロセスについて
　4-3．撥水性表面の機能性と応用について

5．処理効果の経時変化
　5-1．各種材料に於ける親水性処理効果の経時変化
　5-2．経時変化のメカニズム
　5-3．撥水性処理効果にも経時変化はあるのか？
　5-4．処理効果保持技術とその考え方

6．表面改質の構成の種類
　6-1．化学修飾型
　6-2．物理吸着型

7．まとめと今後の課題

スケジュール
12:30-14:20 講義
14:20-14:30 休憩
14:30-16:30 講義

※講義の進行状況により多少前後いたします。

大気圧、真空、プラズマ、表面、改質、処理、ポリマー、金属、撥水、親水、セミナー

セミナー講師

（株）魁半導体　プロセス開発部　指導役　博士（理学）　山原 基裕　氏

セミナー受講料

49,500円（税込、資料付）
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　 2名同時申込の場合計49,500円（2人目無料：1名あたり24,750円）で受講できます。
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　  今回の受講料から会員価格を適用いたします。）
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