半導体洗浄の工学的基礎と要点、トラブル対策の視点

セミナー趣旨

　半導体洗浄の基礎現象から困った時の視点と対策まで説明します。洗浄とは何のために何をどうすることか？「清浄・きれい」の意味は何か？を改めて考えると、意外なほど工程と現象が見えて来ます。ここでは、簡単な流れの例を動画で見て基礎現象の感覚をつかみ、湿式洗浄の代表的装置（枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機）の流れを可視化観察動画と計算例で解説します。超音波の効果についても動画を見るとイメージが湧いて来ます。まとめでは、足元をすくわれた時の視点と対策を簡潔に説明します。化学工学の基礎と応用の視点から説明しますので、半導体以外の洗浄をしている技術者や、洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

受講対象・レベル

　半導体製造に関わる企業の生産現場と開発現場で洗浄を主担当とする技術者、および、洗浄を手段として使っている技術者。
　先端材料の表面を取り扱っている技術者及び研究者

習得できる知識

　半導体洗浄に関わる以下の知識と手法が得られ、洗浄時間と効果の向上に活かせます。
　(1) 化学工学の基礎（工業生産プロセスの主要要素を成す流れ・熱・拡散などの考え方
　(2) 流れを実感し、活用する工夫
　(3) 流れの改善により工程短縮、品質向上、などを進める視点
　(4) プロセスの限界を見極め、それを乗り越えるための考え方

セミナープログラム

1）　洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？
　　
2）　一般の洗浄（洗浄の4要素:温度、時間、化学、力学）
　　
3）　半導体の洗浄に特有のこと
　　
4）　先端技術情報
　　（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）
　　
5）　半導体洗浄の基礎現象（薬液と流れの効果）
　5-1）　表面の現象とプロセス
　　　　（付着・脱離・引き剥がす・こする・乾かす）
　5-2）　流れ、熱、拡散、反応
　5-3）　装置内流れの種類(完全混合、押出流れ、境界層）　
　5-4）　流れの可視化観察（簡単な例を動画で紹介）
　　
6）　洗浄機内の流れと反応
　6-1）　枚葉式洗浄機
　　6-1-1）　水の流れ（観察動画と計算例）
　　6-1-2）　化学反応の例
　6-2）　バッチ式洗浄機
　　6-2-1）　水の流れ(観察動画と計算例）　
　　6-2-2）　水流の最適化（変えてみた例）
　6-3）　バッチ式洗浄機における超音波の働き（観察）
　　
7）　まとめ：困った時の視点と対策

※ 適宜休憩が入ります。

セミナー講師

羽深　等 氏　　横浜国立大学大学院工学研究院機能 創生部門 教授

セミナー受講料

55,000円（税込）　　

＊ 資料付
＊メルマガ登録者49,500円（税込）
＊アカデミック価格26,400円（税込）

★メルマガ会員特典
2名以上同時申込で申込者全員メルマガ会員登録をしていただいた場合、
1名あたりの参加費がメルマガ会員価格の半額となります。

★ アカデミック価格
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、
大学院の教員、学生に限ります。申込みフォームに所属大学・大学院を記入のうえ、
備考欄に「アカデミック価格希望」と記入してください。

受講について

• 本セミナーはビデオ会議ツール「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  お申し込み前に、下記リンクから視聴環境をご確認ください。
  　→ https://zoom.us/test
• 当日はリアルタイムで講師へのご質問も可能です。
• タブレットやスマートフォンでも視聴できます。
• お手元のPC等にカメラ、マイク等がなくてもご視聴いただけます。この場合、音声での質問はできませんが、チャット機能、Q&A機能はご利用いただけます。
• ただし、セミナー中の質問形式や講師との個別のやり取りは講師の判断によります。ご了承ください。
• 「Zoom」についてはこちらをご参照ください。

■ お申し込み後の流れ

• 開催前日までに、ウェビナー事前登録用のメールをお送りいたします。お手数ですがお名前とメールアドレスのご登録をお願いいたします。
• 事前登録完了後、ウェビナー参加用URLをお送りいたします。
• セミナー開催日時に、参加用URLよりログインいただき、ご視聴ください。
• 講師に了解を得た場合には資料をPDFで配布いたしますが、参加者のみのご利用に限定いたします。他の方への転送、WEBへの掲載などは固く禁じます。
• 資料を冊子で配布する場合は、事前にご登録のご住所に発送いたします。開催日時に間に合わない場合には、後日お送りするなどの方法で対応いたします。