ＭＥＭＳ技術入門 2日間集中講座 －基礎・各工程から各分野への応用・最新トレンドまで－

セミナー趣旨

  半導体微細加工技術を発展させて、Siウェハ上などに回路だけでなくセンサやアクチュエータ、微細構造体などを形成するMEMS（Micro Electro Mechanical Systems）と呼ばれる技術は、鍵を握る部品などを大量に安価に供給できるため、さまざまなシステムに用いられている。多様な技術を用い、標準化などが難しいことが課題であるが、毎年13%の割合で売り上げは拡大している。IoTなどと呼ばれる技術にMEMSセンサなどが求められている。

受講対象・レベル

本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能です。

必要な予備知識

この分野に興味のある方なら、特に必要はありません。

習得できる知識

MEMSやセンサの基礎知識、製作法、応用展開

セミナープログラム

【第１部】MEMSの使われ方と基本プロセス
2022年10月13日(木) 10:30-16:30

１．概論
２．自動車・スマートホンなどで使われる（量産）MEMS
　2.1　自動車などで使われるMEMS
　　2.1.1　圧力センサ
　　2.1.2　加速度センサ
　　2.1.3　ジャイロ（角速度センサ）
　　2.1.4　その他
　2.2　スマートホンなどで使われるMEMS
　　2.2.1　コンボセンサ（加速度、ジャイロ、磁気コンパス）
　　2.2.2　マイクロホン、指紋センサ、モバイルプロジェクタ
　　2.2.3　周波数源、RFフィルタ（FBAR他）
３．IT機器、バイオ・医療・健康などで使われる（量産・高付加価値）MEMS
　3.1　IT機器
　　3.1.1　プリンタヘッド
　　3.1.2　ミラーアレイによるプロジェクタ
　3.2　バイオ・医療・健康
　　3.2.1　バイオ・化学分析
　　3.2.2　遺伝子検査
　　3.2.3　低侵襲医療（カテーテル・内視鏡・飲み込み）
　　3.2.4　体内埋込
４．インフラ･安全・環境、製造･検査などで使われる（高付加価値）MEMS
　4.1　宇宙・海洋・地下
　4.2　インフラ･安全・環境
　4.3　製造･検査IT機器
　　4.3.1　光・電子ビーム直接描画装置
　　4.3.2　電子線透過薄膜
　　4.3.3　プローブカード
　　4.3.4　走査プローブ顕微鏡
５．基本プロセス1（パターニング、エッチング）
　5.1　パターニング
　5.2　エッチング
　　5.2.1　ウェットエッチング
　　5.2.2　ドライエッチング
６．基本プロセス2 （堆積と応力制御、接合）
　6.1　堆積と応力制御
　　6.1.1　気相堆積
　　6.1.2　液相堆積
　　6.1.3　応力制御
　6.2　接合
　　6.2.1　陽極接合
　　6.2.2　直接接合
　　6.2.3　金属接合
　　6.2.4　低融点ガラス接合
　　6.2.5　ポリマー接合
　　6.2.6　堆積接合

【第２部】組合せプロセス、MEMS関連技術、MEMSの要素、MEMSの拡がりとコラボレーション
2022年10月14日(金) 10:30-16:30

７．組合せプロセス1（バルクマイクロマシニング、表面マイクロマシニング、ナノマシニング）
　7.1　バルクマイクロマシニング
　　7.1.1　バルクSi利用MEMS
　　7.1.2　SOIウェハ利用MEMS
　　7.1.3　圧電薄膜利用MEMS
　7.2　表面マイクロマシニング
　　7.2.1　Poly Si 表面マイクロマシニング
　　7.2.2　Poly Si-Ge 表面マイクロマシニング
　　7.2.3　金属表面マイクロマシニング
　　7.2.4　圧電材料表面 マイクロマシニング
　7.3　CMOSLSIを用いたMEMS
　7.4　ナノマシニング
　　7.4.1　データストレージ
　　7.4.2　高感度振動型センサ
　　7.4.3　NEMSスイッチ
８．組合せプロセス2（ウェハ転写とヘテロ集積化、電気的接続、パッケージングと真空封止）
　8.1　ウェハ転写とヘテロ集積化（LSI + MEMS）
　　8.1.1　ウェハ転写
　　8.1.2　樹脂接合によるヘテロ集積化
　　　　　（バイオLSI、触覚センサネットワーク、LSI上PZTスイッチ、LSI上SAWフィルタ、LSI上FBAR）
　　8.1.3　選択転写 （レーザリフトオフ）
　　8.1.4　機能性材料の転写
　8.2　電気的接続
　8.3　パッケージングと真空封止
９．ダイシング、各種プロセス、テスト・評価、MEMS材料の機械特性、共振子、光MEMS、失敗物語
　9.1　ダイシング
　9.2　各種プロセス
　　9.2.1　めっきを用いた組立
　　9.2.2　VLS法によるSiウィスカ
　　9.2.3　LIGAプロセスとDeep Proton Lithography
　　9.2.4　その他
　9.3　テスト・評価
　9.4　MEMS材料の機械特性
　　9.4.1　クリープ
　　9.4.2　破壊強度
　9.5　共振子
　　9.5.1　QCM
　　9.5.2　原子時計
　　9.5.3　微粒子（PM2.5）の検出
　　9.5.4　MEMS共振子フィルタ
　9.6　光MEMS
　9.7　失敗物語
１０．MEMSの要素（センサ、アクチュエータ、エネルギー源）
　10.1　センサ
　　10.1.1　ピエゾ抵抗型 （圧力センサの例で説明）
　　10.1.2　容量型 （圧力センサの例で説明）
　　10.1.3　熱型（マイクロホン、加速度センサ、ジャイロ）
　10.2　アクチュエータ
　　10.2.1　静電アクチュエータ
　　10.2.2　圧電アクチュエータ
　　10.2.3　電磁アクチュエータ
　　10.2.4　熱型アクチュエータ
　　10.2.5　界面現象などを利用するポンプ
　10.3　エネルギー源
　　10.3.1　光発電（太陽電池）
　　10.3.2　熱電発電
　　10.3.3　電磁発電
　　10.3.4　圧電発電、エレクトレット発電
　　10.3.5　電池、燃料電池
　　10.3.6　電力伝送
　　10.3.7　超小型ガスタービン発電
１１．MEMSのトレンドとLSIへの拡がり、設備共用、知識提供と連携 他
　11.1　MEMSのトレンドとLSIへの拡がり
　11.2　LSI開発を中心とした研究の経緯
　11.3　設備の共同利用と成果の有効活用
　11.4　試作コインランドリと展示室
　11.5　知識提供サービスと連携
　11.6　インセンティブを持たせる教育
　11.7　プロジェクト終了後の活動
　11.8　おわりに
＜質疑応答＞

＊途中、お昼休みと小休憩を挟みます。

■受講者特典
   配布テキストとは別に下記書籍も進呈します！
・はじめてのMEMS（森北出版・2011）
・これからのMEMS（森北出版・2016）

セミナー講師

 江刺 正喜 先生   東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC) シニアリサーチフェロー
 株式会社メムス・コア CTO

セミナー受講料

【オンライン受講（ライブ配信）：見逃し視聴なし】　1名62,700円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき51,700円

【オンライン受講（ライブ配信）：見逃し視聴あり】　1名70,400円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき59,400円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料は、印刷物を郵送で送付致します。
  お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
  お申込みは4営業日前までを推奨します。
  それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
  テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」