【中止】流れの可視化画像で基礎から学ぶ半導体洗浄技術 ～洗浄プロセスの基礎となる現象理解から困った時の視点と対策まで～

セミナー趣旨

  半導体不足解消のための投資や設備増強の機会には、洗浄技術者が新たに必要になります。そこで、半導体洗浄に初めて取り組む方を前提にして、基礎から説明します。予備知識は不要です。
  半導体製造工程における「清浄・きれい」の意味を見直し、洗浄プロセスの基礎となる現象を理解し、洗浄装置の水流・気泡の可視化画像を見て、工程と現象の要点が直感的に見えるようになることを目指します。そして、困った時の視点と対策まで簡潔に説明します。
本講座の内容は、洗浄以外にもめっきなど液体を用いる半導体製造工程に役立ちますし、半導体以外の分野の洗浄技術者にも参考にして頂けます。

受講対象・レベル

・半導体洗浄をこれから初めて担当する方
・洗浄というものが何となく分からない方
・対策・提案が的を得ているのか不安な方
・洗浄技術に対する視点・指針を身に付けたい方

必要な予備知識

予備知識から紹介しますので、特に必要なことはありません。ただし、下記の知識があると理解がさらに深まります。
・流れの可視化写真を見た経験
・基礎的な化学工学（熱・流れ・拡散）
・川などの水の流れをじっくり眺めた経験

習得できる知識

・流れの見方と設計指針
・先端材料の洗浄方法を組むための要素
・目的に合わせた「清浄」の定義
・キレイにするための表面と流れの取扱い方
・生産プロセスに共通して潜在する化学工学現象（流れ・気泡などの動きと設計）
・困った時に真っ先に点検すること

セミナープログラム

1.洗う理由：汚れは何？いつ、どこからなぜやって来る？
2.洗浄の4要素（温度、時間、化学、力学）
3.半導体の洗浄に特有のこと・・・本当の目的は？
4.先端技術情報（半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会）
5.半導体洗浄の基礎
 1）表面の扱い（付着・脱離・引き剥がす・乾かす）
 2）流れ、熱、拡散の法則
 3）装置内の流れ(完全混合、押出流れ、境界層)
 4）流れの可視化実験（身近な例）・・・理想的配置にするほど攪拌されにくい理由
6.洗浄機内の流れと反応（可視化観察と数値計算の事例をもとに）
 1）枚葉式洗浄機
   1－1）ウエハ回転数と水が広がる速さ、水膜厚さ
   1－2）ノズルを往復させることの意味
   1－3）数値解析で化学反応はここまでわかる
 2）バッチ式洗浄機
   2－1）水流の課題：水噴出の傾きとオーバーフロー排出で水循環形成
   2－2）直角に水を噴出させ、水循環を抑える簡単な方法の例
   2－3）ウエハを入れる時、取り出す時の汚れの動き観察例
 3）超音波洗浄
   3－1）超音波による流れの加速
   3－2）気泡の大きさと動き、支柱の影に気泡は届かない
7.まとめ：困った時の視点と対策（境界層を壊せ）

■講演中のキーワード：
流れの可視化、境界層、表面、枚葉式、バッチ式、超音波、ウエハ

セミナー講師

 羽深 等 先生   反応装置工学ラボ 代表

■略歴：
1981年　京都大学大学院理学研究科修士課程化学専攻　修了(理学修士)
1981～2000年　信越化学工業株式会社（信越半導体(株)半導体磯部研究所）
1996年　広島大学大学院工学研究科　博士（工学）
2000年　横浜国立大学工学部物質工学科　助教授
2002～2022年　横浜国立大学大学院工学研究院　教授
2022年　横浜国立大学大学院工学研究院　名誉教授
2022年　反応装置工学ラボ　代表
■専門および得意な分野・研究：
分野：シリコンと炭化ケイ素など半導体結晶製造技術の化学工学
製造技術の例：洗浄、薄膜成長（CVD, PECVD）、CVD装置クリーニング、ドライエッチング、表面汚染
取組みの視点：実験と解析、プロセスと装置の設計と開発、熱流体と化学反応の活用、分子吸着・脱離・
                     反応の測定・解析と設計
■本テーマ関連学協会でのご活動：
化学工学会(エレクトロニクス部会部会長、反応工学部会CVD反応分科会幹事、化学工学会代議員)、応用物理学会、
日本結晶成長学会、空気清浄協会、American Chemical Society、Electrochemical Society名誉会員、
特定非営利活動法人YUVEC理事、よこはま高度実装技術コンソーシアム(YJC)理事長

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名52,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

※本講座は、お手許のPCやタブレット等で受講できるオンラインセミナーです。

配布資料・講師への質問等について

• 配布資料は、印刷物を郵送もしくはメール送付のどちらかを検討中です。
  お申込については4営業日前までのお申込みを推奨します。
  それ以降でもお申込みはお受けしておりますが（開催1営業日前の12:00まで）、
  テキストが郵送となった場合、資料の到着がセミナー後になる可能性がございます。
• 当日、可能な範囲で質疑応答も対応致します。
  （全ての質問にお答えできない可能性もございますので、予めご容赦ください。）
• 本講座で使用する資料や配信動画は著作物であり、
  無断での録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止致します。

下記ご確認の上、お申込み下さい

• PCもしくはタブレット・スマートフォンとネットワーク環境をご準備下さい。
• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております（20Mbbs以上の回線をご用意下さい）。
  各ご利用ツール別の動作確認の上、お申し込み下さい。
• 開催が近くなりましたら、当日の流れ及び視聴用のURL等をメールにてご連絡致します。

Zoomを使用したオンラインセミナーとなります

• ご受講にあたり、環境の確認をお願いしております。
  お手数ですが下記公式サイトからZoomが問題なく使えるかどうか、ご確認下さい。
  → 確認はこちら
  ※Skype／Teams／LINEなど別のミーティングアプリが起動していると、Zoomでカメラ・マイクが使えない事があります。お手数ですがこれらのツールはいったん閉じてお試し下さい。
• Zoomアプリのインストール、Zoomへのサインアップをせずブラウザからの参加も可能です。
  ※一部のブラウザは音声（音声参加ができない）が聞こえない場合があります。
  　必ずテストサイトからチェック下さい。
  　対応ブラウザーについて(公式) ;
  　「コンピューターのオーディオに参加」に対応してないものは音声が聞こえません。

申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です

• 開催5営業日以内に録画動画の配信を行います（一部、編集加工します）。
• 視聴可能期間は配信開始から1週間です。
  セミナーを復習したい方、当日の受講が難しい方、期間内であれば動画を何度も視聴できます。
  尚、閲覧用のURLはメールにてご連絡致します。
  ※万一、見逃し視聴の提供ができなくなった場合、
  （見逃し視聴有り）の方の受講料は（見逃し視聴無し）の受講料に準じますので、ご了承下さい。
  →こちらから問題なく視聴できるかご確認下さい（テスト視聴動画へ）パスワード「123456」