薄膜の剥離メカニズムと密着性の評価と改善手法

～スパッタ・蒸着膜の剥離トラブルに実践的に対処する際に知っておくべきこと～

なぜ剥離が発生するのか？密着性をどのように評価するか？密着性をどうやって改善するか？
薄膜の密着性にまつわる技術課題を解決されたい方、密着についての品質管理に関わる方は聴いておきたい！
薄膜の密着性の問題に対処する際に知っておくべき基本的な内容を基礎から易しく解説します。

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    セミナー趣旨

    本セミナーでは、薄膜の密着性の問題に実践的に対処する際に知っておくべき基本的な内容について、具体的な問題点とその解決のキーポイントの例示→その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→具体例などを使ってより詳しい解説、という順で平易に解説します。特に、なぜ剥離が発生するのか、密着力が弱いことが原因なのか、という点に焦点を絞って、界面や表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識、密着性改善の考え方、密着性の評価方法について詳しく解説します。具体例として、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜等についてもいくつかの実例を示しながら解説します。さらに、様々な剥離形態をどのように観察して剥離発生の要因を考えるか、実際に剥離が発生した場合に具体的にどのように対処するかについてクローズアップします。

    初学者、中堅技術者で薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方、さらには品質管理等で密着性の評価技術の本質を理解したい方に適した内容です。本セミナーを通じて、密着性の概略を把握していただき、現象の本質を理解して、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

    受講対象・レベル

    薄膜材料・デバイスの設計開発、製造プロセス、品質管理にかかわる中堅技術者、初学者

    習得できる知識

    ・薄膜の剥離・破壊に関わる基礎知識、評価方法、解析方法
    ・薄膜/基板界面などの微視的構造の基礎知識
    ・薄膜の剥離部を観察する際の注意点
    ・薄膜の剥離トラブルに直面した時の具体的な対処手順
    ・薄膜の様々な剥離モードに応じた、密着性を向上させる材料設計の考え方

    セミナープログラム

    １．なぜ剥離が発生し、どのように改善するのか
    　Introduction 薄膜の剥離トラブルの解決に苦労する理由
    　1.1 膜剥離を理解・対策するための３つのポイントとは
    　　　・剥離形態を観察することで何がわかるか
    　　　・剥離原因を簡単に絞り込む方法
    　1.2 異種材料間の界面を観察してみよう：
    　　　・剥離トラブルを避けて、密着性を向上させるためには界面のどこの何をみるべきか？
    　1.3 異種材料界面がくっついている根本的な要因は何か？
    　1.4 密着と粘着・接着との違い
    　1.5 薄膜が剥離するとは？：
    　　　・負荷条件と、膜の剥離・破壊原因および歪みｴﾈﾙｷﾞｰの影響と剥離･破壊のモード
    　　　 （引張/圧縮力の負荷、ヒートサイクル、高温保持によっておこる剥離･破壊形態の違い）
    　1.6 壊れやすいところが剥離するという密着性の考え方の基本と破壊の力学
    　1.7 密着性向上の対策につなげる効果的な考え方と密着性改善の手法
     
    ２．密着性をどのように評価し活用するのか
    　Introduction 剥離対策に密着力測定はどこまであてになるのか？
    　2.1 密着力の測定方法、条件の選び方：測定条件の影響と測定値の持つ意味
    　2.2 様々な密着性評価方法の特長と注意点
    　2.3 スクラッチ法から得られる密着力に関わる情報と材料設計への活かし方
    　2.4 スクラッチ法の樹脂コーティング膜の密着力評価への展開
     
    ３．剥離のトラブルにどのように対処するのか
    　Introduction　よくある剥離トラブル時の対応における失敗例
    　3.1 剥離が起こった時の対処の手順と解析の方法
    　3.2 ケーススタディ１：思い込みで剥離対策をしてないか？
    　3.3 ケーススタディ２：一般的な剥離対策の常識を信じて良いか？

    ４．まとめ

    □ 質疑応答 □

    セミナー講師

    ペルノックス(株) ( 荒川化学工業(株) )　事業戦略室長 工学博士　岩村　栄治 氏
    略歴
    1990年 東京大学工学研究科修士課程修了(金属工学専攻)
    2000年 工学博士(東京大学)
    1990年～2001年 (株)神戸製鋼所 技術開発本部 研究員
    1994年～1996年 スタンフォード大学材料科学工学科　客員研究員
    2002年～2005年 科学技術振興機構 さきがけ研究２１ 個人研究者
    2005年～ 荒川化学工業(株)
    2013年～ ペルノックス(株)（出向）

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