スパッタリング薄膜の基礎とプロセス改善、トラブル対策

スパッタリングにおける実務上の重要なポイントを豊富な経験に基づいて解説します！

セミナー講師

 ソメイテック 代表    大薗 剣吾 氏 技術士(金属部門、機械部門）

■ご略歴大手印刷会社にて電子デバイス・半導体・機能性フィルム技術に携わり、蒸着、スパッタ、めっき、エッチング、リソグラフィ、コンバーティング、表面分析など表面に関する幅広い技術を有する。2017年よりソメイテックにて化学系・薄膜系の技術支援を開始。技術開発の支援、生産課題への助言、技術者教育、製品開発に携わる。スパッタリング装置はバッチ式試作機からインライン大型量産機まで扱い、製品設計から、工程設計、装置導入、品質管理、成膜工場立上げまでの幅広い経験を有する。薄膜特性の面内分布改善、密着性の改善、微小欠陥改善、スパッタリング装置稼働率向上、メンテナンス改善、コスト低減等を得意とする。

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名47,300円(税込（消費税10％）、資料付)＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき36,300円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名52,800円(税込（消費税10％）、資料付)＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。（開催1週前～前日までには送付致します）※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。（土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです→環境の確認についてこちらからご確認ください
• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です→こちらをご確認ください

セミナー趣旨

  スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するのか？についてのノウハウはあまり知られていません。  本講座では、スパッタリング薄膜の品質の安定化、密着性改善、生産性向上、トラブル対応など、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。スパッタリングの基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。

習得できる知識

・スパッタ薄膜の基礎から応用までを学べる・スパッタ膜の物性をコントロールする方法を学べる・薄膜の分析評価技術について知ることができる・膜の密着性を改善するポイントが分かる・スパッタ装置の生産性を高める方法を学べる・スパッタ実務のトラブル解決へのヒントが得られる

セミナープログラム

1．スパッタリング法の基礎　1．1　薄膜の基本を知る　1．2　スパッタリング法の特徴とその用途　1．3　スパッタリング装置の構成　1．4　スパッタリング工程の運用と管理方法2．スパッタリング法の物理現象　2．1　物理現象を把握することの重要性について　2．2　スパッタリングの物理現象1（プラズマ放電）　2．3　スパッタリングの物理現象2（スパッタリング）　2．4　スパッタリングの物理現象3（組織形成）　2．5　スパッタリングの現象と制御パラメータの関係3．スパッタリング薄膜の評価・分析技術　3．1　スパッタリング薄膜に求められる性能とは　3．2　あらゆる機能の基礎となる、膜厚・形状の測定　3．3　薄膜の性能を知るための、各種特性の測定・評価　3．4　特性の発現機構を明らかにする、結晶構造評価　3．5　不具合現象解明のための元素・状態分析　3．6　信頼性評価のための機械的性質・密着性評価4．スパッタリング薄膜の特性安定化　4．1　特性実現と特性安定化という2つの課題　4．2　特性とパラメータの間にあるものを理解する　4．3　プロセスのばらつき・変動要因を理解する　4．4　プロセスのリアルタイム分析方法、データ解析事例　4．5　スパッタリング薄膜の特性安定化の重要ポイント　4．6　【事例】特性値の悪化、バラツキ増大、トレードオフ5．スパッタリング薄膜の密着性・信頼性改善　5．1　薄膜の密着と剥離のメカニズム　5．2　解析～原因追究の手順　5．3　密着性改善・安定化のための具体的な手法　5．4　薄膜の信頼性の問題と対策　5．5　【事例】密着性不足、信頼性不足、密着性の悪化6．スパッタリング薄膜の微小欠陥・外観異常対策　6．1　スパッタリング薄膜の欠陥モード　6．2　スパッタリング薄膜の外観検査とモニタリング　6．3　ピンホール・付着異物の原因究明と対策　6．4　変色・しわ・しみの原因究明と対策　6．5　【事例】微小欠陥の増加、異物問題、外観不良7．スパッタリング工程の生産性改善　7．1　スパッタリング工程の原価を把握しよう　7．2　スパッタリング工程のコスト改善手法　7．3　スパッタリング工程の運用体制と稼働率　7．4　スパッタリング工程の稼働率改善法　7．5　メンテナンスを安全化しよう　7．6　生産性改善アプローチの事例＜質疑応答＞