リソグラフィ技術の基礎およびEUVリソグラフィ・レジスト周辺技術と展望

～ 半導体プロセス技術、半導体デバイス技術、リソグラフィ技術 ～

●微細加工の基礎、フォトリソグラフィ技術の原理、フォトリソグラフィ技術の材料、EUVリソグラフィ技術の応用事例について分かりやすく丁寧に解説して行きます。

日時

【Live配信（アーカイブ配信付き）】2025年1月31日（金）  13:00～16:30 【アーカイブの視聴期間】2025年2月1日(土)～2月7日(金)まで  受講可能な形式：【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ  ※アーカイブ配信のみの受講もOKです。 

セミナー講師

東京大学　大学院新領域創成科学研究科・特任助教　藤原 弘和　氏＜経歴＞1991年、岡山県生まれ。2019年に岡山大学にて博士号（理学）を取得。同年、東芝メモリ株式会社（現 キオクシア株式会社）入社。同社メモリ技術研究所デバイス技術研究開発センター配属。2021年より東京大学物性研究所附属極限コヒーレント光科学研究センター特任研究員を経て、2024年より同大学大学院新領域創成科学研究科特任助教に着任。光電子分光・顕微鏡を活用した半導体デバイスおよび材料開発を専門とし、産学連携による先端分析技術の社会実装にも取り組む。

セミナー受講料

※お申込みと同時にS&T会員登録をさせていただきます(E-mail案内登録とは異なります)。

49,500円( E-mail案内登録価格46,970円 )E-Mail案内登録なら、2名同時申込みで1名分無料2名で 49,500円 (2名ともE-mail案内登録必須／１名あたり定価半額24,750円)

【1名分無料適用条件】※2名様ともE-mail案内登録が必須です。※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。※請求書（PDFデータ）は、代表者にE-mailで送信いたします。※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)※他の割引は併用できません。

 テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【オンライン配信セミナー受講限定】 1名申込みの場合：受講料39,600円（E-Mail案内登録価格 37,840円）　　定価：本体36,000円＋税3,600円　E-Mail案内登録価格：本体34,400円＋税3,440円※１名様でオンライン配信セミナーを受講する場合、上記特別価格になります。※他の割引は併用できません。

受講について

ZoomによるLive配信　►受講方法・接続確認（申込み前に必ずご確認ください）アーカイブ配信　►受講方法・視聴環境確認（申込み前に必ずご確認ください）

配布資料

• PDFテキスト(印刷可・編集不可)

セミナー趣旨

習得できる知識

・リソグラフィの物理・評価技術・半導体プロセス技術・半導体デバイス技術

セミナープログラム