機器分析による薄膜評価～分析の原理、特性を知り、データの理解を深める～

セミナー趣旨

  近年の分析装置はユーザーフレンドリーであり、オペレーターが分析原理や分析限界を知らなくても、相応の結果が得られることもある。これは、ハード・ソフト両面の高度化の賜物であるが、その一方で、ブラックボックス化が進んでいる。
  この点、違和感を覚える方もいらっしゃるかも知れないが、ブラックボックス化には違和感だけではなく、弊害がある。例えば予想外の結果が出た場合、原因究明に時間を要することがある。
  また、開発要素や分析要素が多岐にわたる場合、分析方法の選択に迷うこともある。
  選択を誤れば、目的に適したデータを得られず、分析に要した苦労や経費（例：分析に係る人件費、分析依頼費、装置購入費）が無駄になりかねない。
  そこで本セミナーでは、機器分析の概要を述べた上で、現代技術の発展に欠かせない「薄膜」をターゲットとして、代表的な機器分析を俯瞰し、その原理、特徴、等について、実例を交えて紹介する。
  また、機器分析の選択のポイントについても言及する。

セミナープログラム

第１部　機器分析の概要
Ⅰ　代表的なフロー（入射→相互作用→認識）
Ⅱ　入射
　１．X線
　２．電子
　３．その他
Ⅲ　相互作用
　１．X線との相互作用
　２．電子との相互作用
　３．その他
Ⅳ　認識
　１.検出器
　２．表示
Ⅴ　その他
　１．真空
　２．試料ステージ
第２部　代表的な機器分析
Ⅰ　形状観察
　１．光学顕微鏡
　２．レーザー顕微鏡
　３．SPM
　　a）AFM
　　b）STM
　４．SEM
Ⅱ　結晶解析
　１．X線回折（XRD）
　　a）写真
　　b）ゴニオメーター
　２．電子線（TEM）
Ⅲ　表面分析
　１．XRF
　２．XPS
　３．AES
　４．ATR(FT-IR)
　５．マッピング
Ⅳ　その他
　１．深さ分析
　　a）SIMS　
　　b）RBS
　２．機械的特性
　　a）SAICAS　
　　b）ナノインデンテーション
　３．（格子）欠陥
　　a）TEM　
　　b）トポグラフ
第３部　機器分析の選択のポイント
Ⅰ おさらい
Ⅱ 外部機関の利用
Ⅲ 分析装置の導入
　１．更新
　２．新規
＜質疑応答＞

＊途中、お昼休みや小休憩を挟みます。

セミナー講師

 合同会社I・R・D CEO 博士（理学）  古田 啓 氏

■ご略歴
1992年から民間企業4社に勤務。非破壊検査、薄膜形成等様々な技術開発・研究開発を担当。
また、市場調査をふまえた新技術の開発、上市、生産部門への技術移管、技術支援、知財管理、営業支援、等にも従事。
2024年1月、経営・技術のコンサルティングファーム（合同会社I・R・D）を設立、現在に至る。
第1種放射線取扱主任者、中小企業診断士、1級知的財産管理技能士（特許、ブランド）。
■ご専門および得意な分野・ご研究
機器分析、放射線計測、表面処理、MOT（技術経営）、知財管理

セミナー受講料

【オンライン受講（見逃し視聴なし）】：1名 50,600円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき39,600円

【オンライン受講（見逃し視聴あり）】：1名 56,100円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき45,100円

＊学校法人割引：学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
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  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
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