「半導体技術」の記事検索
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半導体露光装置支える光学技術
【目次】 ♦ 露光技術50年の変遷たどる 1．半導体露光装置:フォトリソグラフィ工程の... -
ものづくりのための「設備共用へのこだわり」
1. はじめに：MEMSと関わり半世紀 私は学生時代から約半世紀にわたり、MEMS（Micro Electro Mechanica... -
スパッタ膜の特徴 スパッタリングの原理・応用（その2）
前回のその1に続いて解説します。 3．スパッタ膜の特徴 表2のように、スパッタリングでつくられる膜には、様々な特徴があります。緻密...
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