レジストとリソグラフィの基礎とトラブル解決策【アーカイブ配信】

受講対象・レベル

【１】レジスト材料の研究開発、製造、品質管理、販売
【２】半導体、ディスプレイ、MEMS、センサーなどのデバイス開発、製造、販売
上記に従事されている方々（リーダークラスの方も歓迎です）

習得できる知識

・レジストを製造するための基礎知識、設計概念と具体的方法
・レジストの品質管理手法
・レジストを使用する際の留意事項、トラブル対応能力
・リソグラフィープロセスの最適化方法
・リソグラフィー使用現場におけるトラブル対応能力
・素材メーカー、レジストメーカーとしての顧客対応能力

セミナープログラム

１． リソグラフィの基礎
　（１）リソグラフィーとは
　（２）露光システムとリソグラフィー装置の変遷
　（３）解像度向上技術とそれに必要な材料

２．レジスト材料とその高性能化
　（１）パターンニング用レジスト材料（総論）
　（２）G線、i線用レジスト
　（３）KrF用レジスト
　（４）ArFおよびArF液浸用レジスト
　（５）EUV用レジスト
　（６）後工程（実装材料）用のレジスト

３．レジスト製造技術と品質管理
　（１）レジスト製造技術
　（２）レジストの性能安定化技術
　（３）品質管理－その項目と管理方法

４．レジスト材料の評価技術
　（１）性能評価
　　　素材（樹脂、感光剤、添加物）やレジストの簡便かつ安価な評価方法をご紹介します。
　（２）品質評価
　　　顧客からの要求項目、スペック項目についての評価方法を述べます。
　（３）シミュレーション技術

５．レジスト製造、および使用現場におけるトラブル対応
　（１）素材（樹脂、感光剤、添加物）製造時のトラブル
　（２）レジスト製造時のトラブル
　（３）レジスト販売時のトラブル
　（４）レジスト使用時のトラブル
　上記のそれぞれについて、①原因、②評価方法、③解決策を、材料面およびリソグラフィープロセス面から述べ、あわせて顧客対応策について詳述します。

６．20nm以下のリソグラフィー技術
　（１）ダブルパターンニング技術
　（２）DSA技術とその材料
　（３）ナノインプリント技術
　（４）今後のリソグラフィー技術

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セミナー講師

（株）光機能材料研究所　代表取締役　工学博士　花畑 誠　氏

セミナー受講料

55,000円（税込、資料付）
■ セミナー主催者からの会員登録をしていただいた場合、1名で申込の場合44,000円、
　 2名同時申込の場合計55,000円（2人目無料：1名あたり27,500円）で受講できます。
（セミナーのお申し込みと同時に会員登録をさせていただきますので、
　  今回の受講料から会員価格を適用いたします。）
※ 会員登録とは
　 ご登録いただきますと、セミナーや書籍などの商品をご案内させていただきます。
　 すべて無料で年会費・更新料・登録費は一切かかりません。
　 メールまたは郵送でのご案内となります。
　 郵送での案内をご希望の方は、備考欄に【郵送案内希望】とご記入ください。

受講について

本セミナーは、約4時間30分の講演を収録したアーカイブ配信セミナーです。
2023年6月26日（月）～7月7日（金）の期間中、いつでも何度でもご視聴いただけます。

【アーカイブ配信セミナーの申込・受講手順】
１）このHPから参加申込をしてください。
２）申込後、受理のご連絡メールをさせていただきます。また請求書を郵送いたします。
３）視聴開始日までにセミナー資料（PDF形式）と閲覧用URLをお送りさせていただきます。
　※申込者以外の視聴はできません。録音・録画などの行為を固く禁じます。
　※配布資料の無断転載、二次利用、第三者への譲渡は一切禁止とさせていただきます。

特典
視聴期間中はメールで講師に質問できます。
※返答には多少時間を頂戴する場合がございます。