薄膜応力の発生メカニズムと実践的な膜応力の評価、制御技術

★知っておくと実務課題に役立つ膜応力の性質、測り方、考え方を解説

セミナー講師

 ペルノックス(株)　事業戦略室長 　（開発部門・品質環境保証部門管掌 取締役）　工学博士　岩村 栄治 氏

セミナー受講料

1名につき55，000円（消費税込・資料付き）〔1社2名以上同時申込の場合1名につき49，500円（税込）〕

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セミナー趣旨

本講演では、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、膜応力の発生メカニズムについて、基材や膜構造、成膜条件の影響などの詳細を紹介します。さらに、具体的な応力の測定法を含め、応力と密着性改善や膜特性制御との関係を理解し、様々な実用上の膜応力の課題に幅広く対処していただけるよう、基礎知識から実践的な対処方法までを網羅して、直感的にわかりやすく解説します。初学者、中堅技術者で薄膜の応力と密着性や膜特性の制御に関して、現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術の基本を習得して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。

セミナープログラム

１．膜応力がどういうものかを詳しく解説！　Introduction 膜応力を制御したいと思う状況と問題解決の方法　1.1 膜応力とは 　1.2 膜応力と歪みと変形の関係の基本知識　1.3 膜応力の発生する原因　1.4 薄膜が形成する過程での膜応力発生のメカニズム　　　①基板の膜応力への影響　　　②膜の微視的構造と膜応力との関係　　　③ピーニング効果とは　1.5 熱応力の発生メカニズム　1.6 成膜条件によって膜応力はどのように変化するか？　1.7 知っておくべき膜応力の性質　　　①パターンニングされた膜応力はどうなるっているのか？　　　②多層膜における膜応力の特徴

２．膜応力の測り方を詳しく解説！　Introduction なぜ薄膜の分析評価で苦労することが多いのか？　　2.1 膜の何が変わり、何を測るか？　　2.2 評価方法の詳細と測定上の注意点　　　　① X線回折による構造因子からの測定　　　　② ラマン分光による光学的特性からの測定　　　　③ 基板の曲率変化を測るマクロな形態からの測定　　　　④ FIB（Focused ion beam）を用いた画像からの測定

３．密着性や膜特性に関わる膜応力制御の考え方と手法を詳しく解説！　Introduction 膜剥離･破壊と力の加わり方の関係から考える問題の解決方法　　　3.1 薄膜の密着力の実体はなにか？　　3.2 弾性歪みエネルギーと膜応力・密着性との関係　　3.3 膜応力制御と密着性改善の手法　　3.4 様々な膜特性･性能への膜応力の影響　　3.5 薄膜の耐熱性や、応力誘起による物質拡散に関わる問題解決の具体例4．まとめ