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~半導体製造工程におけるPFAS使用工程と対応状況~
いまや半導体デバイスの製造に欠かせない有機フッ素化合物(PFAS)
強化され続けているPFAS規制は半導体産業、半導体業界にどんな影響を与えているのか、今後与えるのか
現在の対応状況、今後はどのように備えればいいのか、PFASが半導体製造工程においてどのように使われているかも解説
半導体の技術、市場のトレンドとPFAS規制の関係、PFAS処理と代替材料の動向、
半導体デバイスメーカー、半導体製造装置メーカー、半導体部材メーカーの取り組み状況、、、、
日時
【ライブ配信】 2024年8月30日(金) 13:00~16:00
【アーカイブ配信】 2024年9月17日(火) まで受付(視聴期間:9/17~10/2)
セミナー趣旨
セミナープログラム
1-1 PFAS関連のニュース
1-2 PFASの種類と性質
1-3 PFASの用途
2.PFAS規制の動向
2-1 POPs条約
2-2 日本の規制動向
2-3 欧州の規制動向
2-4 米国の規制動向
3.半導体製造におけるPFAS使用工程(前工程)
3-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
3-2 リソグラフィー
3-3 ウエットエッチング
3-4 ドライエッチング
3-5 配管材料等
4.半導体製造におけるPFAS使用工程(後工程)
4-1 半導体製造方法(前工程)の基礎
4-2 テープ・フィルム類
4-3 モールド材
4-4 基板層間膜
5.PFAS処理と代替材料の動向
5-1 製品ライフサイクルと人体・環境への影響
5-2 廃液処理の現状
5-3 PFASの分析方法
5-4 代替材料開発動向
5-5 装置・材料メーカー、デバイスメーカーの対応状況
6.まとめ
質疑応答
セミナー講師
セミナー受講料
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※請求書(PDFデータ)は、代表者にE-mailで送信いたします。
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受講について
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配布資料
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受講料
49,500円(税込)/人
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開催場所
全国
主催者
キーワード
高分子・樹脂材料
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高分子・樹脂材料関連セミナー
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