X線光電子分光法(XPS、ESCA)の原理と測定条件の設定、データ解析法

セミナー趣旨

表面・界面は、あらゆる固体材料・デバイスにおいて、機械的接合、電気的接合、変色、防食をはじめとする様々な機能に関与している。特にX線光電子分光法（XPS、ESCAともいう）は、固体表面数nm（数十原子層、分子層）の組成と化学状態を調べることができ、最表面および表面近傍を詳しく調べることができる手法であるが、試料の取り扱いやデータの解釈に不用意な取り扱いができない点で注意が必要である。
本講座では実践的なXPS分析のノウハウを述べるとともに、材料の分析事例を通じて、表面分析の利用のコツや考え方を明らかにする。

習得できる知識

・表面分析の基礎知識
・X線光電子分光法（XPS、ESCA）の原理
・X線光電子分光法（XPS、ESCA）の分析例と測定条件、データ解析例

セミナープログラム

１．X線光電子分光法（XPS,ESCA）と表面分析の基礎
　1.1 表面数原子・数分子層の重要性
　1.2 なぜ極表面の分析や極薄膜の分析が可能になるのか?
　1.3 表面分析法の比較
　1.4 他の分析手法と比較した特徴

２．表面分析をはじめる前に
　2.1 試料の観察
　2.2 表面分析のための試料の取り扱い
　2.3 分析時の表面汚染を避けるテクニック
　2.4 粉末材料

３．X線光電子分光法（XPS,ESCA）分析の原理
　3.1 XPS分析の原理
　3.2 XPS分析の特徴
　3.3 チャージアップへの対応
　3.4 ワイドスペクトル、元素の同定
　3.5 ナロースペクトル、定量と化学状態分析
　3.6 アルゴンイオンによる深さ方向分析
　3.7 GCIB（ガスクラスターイオン）による深さ方向分析

４．データ処理
　4.1 定量計算
　4.2 定量範囲の決定
　4.3 化学状態の推定（カーブフィッティング）

５．分析条件とデータ処理の実例
　5.1 金属箔の分析
　5.2 薄膜の分析
　5.3 有機フイルムの分析
　5.4 電池材料の分析例
　5.5 触媒の分析

６．最新の測定技術
　6.1 マイクロXPS分析
　6.2 高エネルギーXPS
　6.3 紫外光電子分光（UPS）と低エネルギー逆光電子分光（LEIPS）
　6.4 オージェ電子分光法（AES）との組み合わせ

【質疑応答】

セミナー講師

アルバック・ファイ(株)　理学博士　眞田 則明 氏　（2022年からアルバック・ファイ(株)　分析技術顧問）

セミナー受講料

  1名につき49，500円（消費税込・資料付き）
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