TOF-SIMSの基礎と応用

セミナー趣旨

受講対象・レベル

・TOF-SIMS装置を使用する技術者、研究者、材料開発者
・TOF-SIMSデータを解釈する必要がある方
・表面分析による解析を立案する必要がある方

習得できる知識

・飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）の原理
・飛行時間型二次イオン質量分析法 （TOF-SIMS）分析の進め方
・飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）データ解析の注意点
・各種表面分析の中でのTOF-SIMS分析の特徴と組み合わせ方

セミナープログラム

1．表面分析法とは
　1.1 表面・界面の重要性
　1.2 各種表面分析法の特徴
　1.3 他の表面分析手法との比較

2．TOF-SIMS法の原理と特徴
　2.1 二次イオン質量分析（SIMS）の原理
　2.2 質量分析器の比較
　2.3 飛行時間型質量分析（TOFーSIMS）法の原理
　2.4 TOF-SIMSが最表面分析手法となる理由
　2.5 一次イオン源
　2.6 イメージング分析と「あとから解析（Retrospective Analysis）」

3．TOF-SIMS試料のサンプリングとハンドリング
　3.1 測定できる試料とその形状
　3.2 試料のハンドリングとサンプリング
　3.3 粉末試料
　3.4 絶縁試料
　3.5 電池材料、大気非暴露搬送

4．TOF－SIMS測定と解析の実際
　4.1 TOF-SIMSの測定モード
　4.2 スペクトル測定
　4.3 スペクトル解析、正イオンスペクトルと負イオンスペクトル
　4.4 マスピークの同定
　4.5 データベースを利用した化合物の同定
　4.6 新しい技術（MS/MSの利用）

5．深さ方向分析
　5.1 スパッタイオン源の選択
　5.2 無機試料の深さ方向分析
　5.3 単原子イオンとクラスターイオン
　5.4 クラスターイオンエッチングの原理と特徴
　5.5 有機試料の付加方向分析
　5.6 TOF-SIMSによる深さ方向分析の特徴と注意点

6．最新のTOF-SIMSの分析例
　6.1 表面性状の分析
　6.2 表面微小異物の分析
　6.3 高分子材料の分析
　6.4 有機半導体デバイスの分析
　6.5 薬剤の分析
　6.6 生体試料の分析

7．よくある質問
　7.1 なぜ一次イオンに高い加速電圧（エネルギー）を用いるのか？
　7.2 一次イオンビームと試料の反応は、分析結果にどのような影響があるのか？
　7.3 無機物を含む試料のクラスターイオン分析は有効なのか？
　7.4 失敗から成功へと導いた分析事例の紹介

8．まとめ、質疑

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