■半導体後工程におけるパッケージングの各プロセス技術とキーポイント
■前工程/封止・モールド工程/後工程/バンプ・フリップチップパッケージの工程/試験工程/梱包工程
■過去に経験した不具合
■試作・開発時の評価、解析手法の例
■RoHS、グリーン対応
■今後の2.xD/3Dパッケージとチップレット技術
★ 半導体製造プロセスにおける主に後工程・パッケージングプロセスを、経験も踏まえて解説!
★ 専門外の半導体技術の把握、新人教育、スキルの幅を広げる・知識習得に!
日時
2024年12月26日(木)まで申込み受付中/【収録日:2024年8月27日(火)】※映像時間:4時間12分
視聴期間:主催者でお申込み受付後、10営業日(期間中は何度でも視聴可)
セミナー趣旨
本セミナーでは半導体後工程の基礎・基本的なパッケージングの各プロセスの技術と開発当時の失敗や苦労、得られた代表的な知見などを講師の経験も踏まえて解説します。
習得できる知識
・半導体製造プロセスの概要(主にパッケージングプロセス)
・半導体パッケージング技術・封止技術とその実際
・評価技術、解析技術の実際
・2.xD/3Dパッケージングとチップレットについて
セミナープログラム
1.半導体パッケージの基礎~パッケージの進化・発展経緯~
1.1 始まりはSIPとDIP、プリント板の技術進化に伴いパッケージ形態が多様化
1.2 THD(スルーホールデバイス)とSMD(表面実装デバイス)
1.3 セラミックスパッケージとプラスチック(リードフレーム)パッケージとプリント基板パッケージ
2.パッケージングプロセス(代表例)
2.1 セラミックスパッケージのパッケージングプロセス
2.2 プラスチック(リードフレーム)パッケージのパッケージングプロセス
2.3 プリント基板パッケージのパッケージングプロセス
3.各製造工程(プロセス)の技術とキーポイント
3.1 前工程
3.1.1 BG(バックグラインド)とダイシング
3.1.2 DB(ダイボンド)
3.1.3 WB(ワイヤーボンド)
3.2 封止・モールド工程
3.2.1 SL(封止:セラミックパッケージの場合)
3.2.2 モールド
3.3 後工程
3.3.1 外装メッキ
3.3.2 切断整形
3.3.3 ボール付け
3.3.4 シンギュレーション
3.3.5 捺印
3.4 バンプ・FC(フリップチップ)パッケージの工程
3.4.1 再配線・ウェーハバンプ
3.4.2 FC(フリップチップ)
3.4.3 UF(アンダーフィル)
3.5 試験工程とそのキーポイント
3.5.1 代表的な試験工程
3.5.2 BI(バーンイン)工程
3.5.3 外観検査(リードスキャン)工程
3.6 梱包工程とそのキーポイント
3.6.1 ベーキング
3.6.2 トレイ梱包・テーピング梱包
4.過去に経験した不具合
4.1 チップクラック
4.2 ワイヤー断線
4.3 パッケージが膨れる・割れる
4.4 実装後、パッケージが剥がれる
4.5 BGAのボールが落ちる・破断する
5.試作・開発時の評価、解析手法の例
5.1 とにかく破壊試験と強度確認
5.2 MSL(吸湿・リフロー試験)
5.3 機械的試験と温度サイクル試験
5.4 SAT(超音波探傷)、XRAY(CT)、シャドウモアレ
5.5 開封、研磨、そして観察
5.6 ガイドラインはJEITAとJEDEC
6.RoHS、グリーン対応
6.1 鉛フリー対応
6.2 樹脂の難燃材改良
6.3 PFAS/PFOAフリーが次の課題
7.今後の2.xD/3Dパッケージとチップレット技術
7.1 2.xDパッケージ・3Dパッケージ
7.2 ハイブリッドボンディング
7.3 製造のキーはチップとインターポーザー間接合とTSV
7.4 基板とインターポーザーの進化が未来を決める
■Q&A■
このセミナーに関する質問に限り、講師とメールにて個別Q&Aをすることができます。
具体的には、セミナー資料に講師のメールアドレスを掲載していますので、セミナーに関する質問がございましたら直接メールでご質問ください。
(ご質問の内容や時期によっては、ご回答できない場合がございますのでご了承下さい。)
セミナー講師
蛭牟田技術士事務所 代表 蛭牟田 要介 氏
<経歴>
1984~2003:富士通株式会社
2003~2009:Spansion Japan株式会社
2009~2022:NVデバイス株式会社(旧社名富士通デバイス株式会社)
2022~ :独立技術士
<専門分野>半導体後工程・実装、品質・信頼性分野
・スーパーコンピュータ向け等ハイエンドのパッケージング技術開発
・メモリ/ロジックデバイスのLFパッケージング技術全域
・モバイル向けMCPパッケージング開発と実装接続信頼性向上
・特殊用途向けセンサーデバイス、SiP(システムインパッケージ)開発
・特殊用途向けパッケージの耐強電磁界対応技術開発
・デバイスのリユースを促進する洗浄技術開発
セミナー受講料
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