スパッタリング・真空蒸着～基本知識とトラブル対策～～大切なポイントを具体的に、分かりやすく解説します！～

セミナー趣旨

  本セミナーでは、スパッタや真空蒸着によって無機・金属薄膜を形成する場合に問題となる膜質制御や剥離対策にテーマに絞り、（1）一つの技術課題とその解決のキーポイントの例示→（2）その技術内容に関わる最低限知っておきたい基礎事項の紹介→（3）成膜や特性改善に関する具体例を使ったより詳しい解説、という順で平易に説明します。主にスパッタ膜を取り上げますが、成膜の基本となる考え方から、現象の詳細、密着力の向上や評価方法と材料設計への活かし方に至る技術を、広く活用していただけるよう解説します。現在成膜に関する問題を抱えられている方、これから成膜技術をより深く理解して製品開発に取り組まれようとされる方、成膜品の品質検査や管理に関わる方に適した内容です。

受講対象・レベル

・スパッタ・真空蒸着を用いた成膜技術に関わる初学者
・製品・プロセス開発技術者
・成膜品検査や品質管理に関わる技術者

習得できる知識

・成膜と薄膜形成の基礎知識
・膜質制御・剥離対策に必要な基礎知識
・密着力の向上や評価方法と品質管理の基礎知識

セミナープログラム

1．成膜プロセスと薄膜形成現象を理解したい
　 　Introduction 成膜方法により生じる膜質変化の具体例
　　1-1.何に注目して成膜プロセスの制御を考えるのか
　　1-2.スパッタと真空蒸着の違い
　　1-3.成膜装置と真空をあつかうための必要最小限の基礎知識
　　1-4.薄膜の初期構造や微視的組織はどのように形成されるのか
　　1-5.膜形成プロセスを利用した膜質制御の具体例と成膜最適化の考え方
　　 　　・段差被覆性
　　 　　・ウルトラクリーンプロセスの利用
　　 　　・マクロな膜構造の制御
　　 　　・成膜制御と成膜条件の最適化の考え方
2．膜の均一性・均質性を制御したい
　 　Introduction 膜質を効果的に制御する具体例
　　2-1.スパッタリングの成膜環境
　　2-2.プラズマとは：制御パラメータと評価方法
　　2-3.イオン・高エネルギー粒子の照射現象とその活用のメリット･デメリット
　　2-4.プラズマを利用した膜質制御の具体例
　　 　　・プラズマの不均一性による密着性のバラツキ
　　 　　・膜面内の比抵抗値分布の均一化
　　 　　・性能のトレードオフ関係の克服：硬質コーティングの多機能化
3．密着力を良くしたい
　 　Introduction よくある剥離トラブル事の対応における失敗例
　　3-1.薄膜の密着力とは
　　 　　・基板と薄膜の界面の構造
　　 　　・異種材料界面がくっついている根本的な原因と界面に働く相互作用
　　 　　・密着と粘/接着との違い
　　 　　・膜応力と弾性歪エネルギーの密着性に与える影響
　　3-2.剥離を起こしている材料的要因を簡単に絞り込む方法
　　 　　・4つの観点から剥離要因を絞り込む
　　 　　・「剥離がなぜ起きるか？」から考える
　　 　　・薄膜が剥離するとは？：膜の剥離原因・負荷条件と剥離･破壊のモード
　　3-3.密着性を改善するには
　　 　　・Griffithの破壊の考え方と剥離を起こさせない条件
　　 　　・エネルギー解放率の考え方
　　3-4.密着性を向上させる様々な方策
　　3-5.スクラッチ試験による密着力測定と材料設計への活かし方
　　 　　・スクラッチ法が役に立つ3つの理由
　　 　　・膜剥離の形態による剥離原因の解釈の仕方とスクラッチマップの活用
4．まとめ

セミナー講師

 ペルノックス株式会社 開発・事業戦略・品質環境保証管掌 取締役 工学博士　 岩村 栄治 氏

■ご略歴
1990年　東京大学工学研究科修士課程修了（金属工学専攻）
2000年　工学博士　（東京大学）
1990年～2001年　（株）神戸製鋼所　技術開発本部　研究員
1994年～1996年　スタンフォード大学材料科学工学科　客員研究員
2002年～2005年　科学技術振興機構　さきがけ研究21　個人研究者
2005年～　荒川化学工業株式会社　(2013～ペルノックス株式会社)
■ご専門
機能性材料設計、ナノ複合構造制御、薄膜形成プロセス、微細構造評価
■本テーマ関連学協会でのご活動
受賞：日本金属学会論文賞、地方発明表彰支部長賞、全国発明表彰発明賞
著書：「薄膜の応力・密着力・剥離トラブルハンドブック＜Q&A集付＞」（情報機構）

セミナー受講料

【オンラインセミナー（見逃し視聴なし）】：1名52,800円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき41,800円

【オンラインセミナー（見逃し視聴あり）】：1名58,300円(税込（消費税10％）、資料付)
＊1社2名以上同時申込の場合、1名につき47,300円

＊学校法人割引；学生、教員のご参加は受講料50％割引。

受講について

• 配布資料はPDF等のデータで送付予定です。受取方法はメールでご案内致します。
  （開催1週前～前日までには送付致します）
  ※準備の都合上、開催1営業日前の12:00までにお申し込みをお願い致します。
  （土、日、祝日は営業日としてカウント致しません。）
• 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
• Zoomを使用したオンラインセミナーです
  →環境の確認についてこちらからご確認ください
• 申込み時に（見逃し視聴有り）を選択された方は、見逃し視聴が可能です
  →こちらをご確認ください