MEMSデバイスの開発と製品への応用【Web対応セミナー】

圧電材料を用いた開発事例からみる
MEMS開発・デバイスへの応用のポイントとは？

アーカイブ配信での受講についてお申込期間を延長しました！
お申込締切日：2020年9月25日(金)まで
視聴期間（予定）：2020年９月28日(月)～2020年10月9日(金)
収録日時：2020年9月14日

近年、MEMSデバイスの進化は進み、各種センサーやアクチュエータでは必要不可欠なものとなっております。
その中でも圧電材料は製品の小型化・高機能化への貢献が期待されています！
圧電材料を中心にMEMS材料の開発・デバイスへの応用のポイントを解説いたします。

セミナー講師

藤井技術士事務所　/　株式会社TAK薄膜デバイス研究所  代表　藤井 隆満　氏
技術士（応用理学部門）

【専門】圧電MEMS、電子材料、薄膜形成、プラズマプロセス

セミナー受講料

44,000円( S&T会員受講料41,800円 )
(まだS&T会員未登録の方は、申込みフォームの通信欄に「会員登録情報希望」と記入してください。
詳しい情報を送付します。ご登録いただくと、今回から会員受講料が適用可能です。)
S&T会員なら、2名同時申込みで1名分無料
2名で 44,000円 (2名ともS&T会員登録必須／１名あたり定価半額22,000円)

【1名分無料適用条件】
※2名様ともS&T会員登録が必須です。
※同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
※3名様以上のお申込みの場合、１名あたり定価半額で追加受講できます。
※受講券、請求書は、代表者に郵送いたします。
※請求書および領収証は1名様ごとに発行可能です。
　(申込みフォームの通信欄に「請求書１名ごと発行」と記入ください。)
※他の割引は併用できません。

※テレワーク応援キャンペーン(1名受講)【Live配信/WEBセミナー受講限定】
１名申込みの場合：35,200円 ( S&T会員受講料 33,440円 )　
※１名様でLive配信/WEBセミナーを受講する場合、上記特別価格になります。
※備考欄に【テレワーク応援キャンペーン】とご記入のうえお申込みください。
※他の割引は併用できません。

受講について

【WEBセミナー】をご選択の場合、以下の流れ・受講内容となります。
※会場で受講の場合、このサービスは付与されませんのでご注意ください。
・当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。
・後日（開催終了後から10日以内を目途）に、メールにてご連絡申し上げます。
・視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
・視聴期間は9月28日～10月9日（予定）です。ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
・セミナー資料は印刷・郵送いたします。
・このセミナーに関する質問に限り、後日に講師にメールで質問可能です。（テキストに講師の連絡先を掲載）

【WEBセミナー】をご希望の方は、下記受講条件をご確認ください。
（1）S&T会員登録が必須になります（マイページ機能を利用するため）
　　映像視聴、各種データのダウンロードなどにS&T会員マイページ機能（無料）を利用します。
（2）動画視聴・インターネット環境をご確認ください
　　セキュリティの設定や、動作環境によってはご視聴いただけない場合がございます。
　　以下のサンプル動画が閲覧できるかを事前にご確認いただいたうえで、お申し込みください。 
　　　≫ テスト視聴サイト【ストリーミング（HLS）を確認】　　≫ 視聴環境

セミナー趣旨

　富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。

受講対象・レベル

IoT関連でセンサやアクチュエータの用途が高まっており、自社で新規なセンサやアクチュエータを開発したいと思っている方

セミナープログラム

0．自己紹介

1．はじめに
　1-1. MEMSとは？
　1-2. 静電MEMS
　　1-2-1. 圧電MEMS
　　1-2-2. 静電MEMS　VS　圧電MEMS
　　1-2-3. MEMSのコストイメージ

2．圧電材料と成膜方法
　2-1. ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法～
　2-2. 圧電材料の種類と特徴
　2-3. 各社の圧電膜について
　　 2-3-1. Pb系材料、KNN系材料、AlN系材料など
　2-4. 圧電膜の特性と適した応用先

3．スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
　3-1. 材料開発のコンセプト
　3-2. スパッタ法における材料開発のテクニック
　3-3. Nb-PZT膜の特徴
　3-4. 分極レスの特徴によるメリット

4.　圧電膜のMEMS応用
　4-1. 圧電MEMSのプロセスフロー
　4-2. インクジェットヘッドへの応用
　4-3. マイクロミラーへの応用
　4-4. 超音波利用素子への応用
　4-5. 振動発電素子への応用
　4-6. MEMSテーマの考え方

5.　終わりに

　　□質疑応答・名刺交換□