スパッタリングによる実務トラブル対応と膜の密着性・信頼性確保

～生産性・膜の密着性を改善するためのアプローチ・稼働率を上げるためのポイント～

★スパッタリングの基礎から、膜の密着性改善、トラブル対応、生産性向上まで、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説!
★ターゲットの利用効率が悪い、メンテナンスにものすごく時間と手間がかかる、過去より欠陥が増えたが原因が分からないなど、再現しないスパッタの実務トラブル対策を解説!
★材料開発、製品設計、工程設計、設備導入、品質管理、工場立上げなどの幅広い業務経験を生かし、技術に関する複合的な問題の解決を得意とする本分野の第一人者の講師が丁寧に解説します!

受講料

【1名の場合】27,000円(税込、テキスト費用を含む)

【2名の場合】32,400円(税込、テキスト費用を含む)

【3名以上の場合は一名につき、5,400円加算】(税込、テキスト費用を含む)
※3名以上ご要望の場合は2名を選択し、備考欄にその旨お書きくださいませ

※　弊社講座は、複数でのご参加を希望される場合、サービスとして1名につき、5,400円で何名でも追加の申し込みができますが、同一部署に限ります。なお、別途でのお申し込みは正規料金になります。ご了承ください。　

【講演主旨】

　スパッタリングは、エレクトロニクスをはじめとした様々なシーンで用いられる重要な成膜技術です。しかし、量産技術をどのように確立し、改善するか?についてのノウハウはあまり知られていません。本講義では、スパッタリングの基礎から、膜の密着性改善、トラブル対応、生産性向上まで、実務上の重要ポイントを網羅的・具体的に解説します。基礎を学びたい方から実務エキスパートを目指す方まで、大変お勧めです。

【プログラム】

1.スパッタリングの基礎
　1-1 スパッタリング法における物理現象を理解しよう
　1-2 膜の機械・光学・電気物性を知る
　1-3 膜の分析技術を駆使しよう
　1-4 ガス分析データを解析する
　1-5 望ましい物性を得るためのアプローチ
　1-6 微小欠陥の発生メカニズムと対策

2.膜の密着性・信頼性を確保するには
　2-1 剥離はなぜ起こるのか
　2-2 密着性評価の各種手法とは
　2-3 密着性を改善するためのアプローチ
　2-4 各種信頼性評価の目的を理解する
　2-5 評価の効率化、管理の負荷を抑える方法
　2-6 独自の評価技術を確立しよう

3.スパッタの実務トラブル対策
　3-1 うまく搬送できない
　3-2 真空度が上がらない
　3-3 ターゲットの利用効率が悪い
　3-4 ターゲットから発塵してしまう
　3-5 メンテナンスにものすごく時間と手間がかかる
　3-6 変色、シミ、シワが発生する
　3-7 過去より欠陥が増えたが原因が分からない
　3-8 面内ばらつき、ワーク間ばらつきが大きい
　3-9 よく装置が壊れる
　3-10 テスト結果が再現しない

4.生産性を向上させるには
　4-1 サイクルタイムの考え方と制約条件を知る
　4-2 スパッタ装置のメンテナンスサイクルを理解する
　4-3 稼働率を見える化しよう
　4-4 稼働率を上げるための方法とポイントを押さえよう
　4-5 打ち手の選択・・作業負荷、改造コストから判断

5.その他
　5-1 装置の性能を引き出すポイント
　5-2 装置導入のための評価方法とチェックポイント
　5-3 装置改造、できる事とできない事
　5-4 遊休装置を復活させるときに押さえるポイント
　5-5 その他

【質疑応答・名刺交換】