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2024/09/26(木)
10:00 ~ 16:30半導体クリーン化・歩留向上技術~半導体製造ラインの汚染の実態と歩留まり向上のためのシリコンウェーハ表面汚染防止技術の基礎から最新動向まで~<東京会場受講(対面)/Zoomオンライン受講選択可>
[東京・京急蒲田]大田区産業プラザ(PiO)6階D会議室 / Zoom
~クリーン化/クリーンルーム管理のあるべき姿へ。ゴミ・異物への対策へ~
★現場で即役立つクリーンルームの維持管理とゴミ・異物対策について、
基礎からわかりやすく解説します。
★新人・作業員教育に!ベテランの復習に!クリーン化/異物対策へのイロハを
徹底学習します。
日時
【Live配信:アーカイブ付き】 2024年8月22日(木) 10:30~16:30
【アーカイブの視聴期間】2024年8月23日(金)~8月29日(木)まで
受講可能な形式:【Live配信(アーカイブ配信付)】のみ
★アーカイブ配信のみの受講もOKです。
セミナー趣旨
「クリーンルーム環境で製造をしていても、異物不良が発生して困っています。」「クリーン度の数値は規格内にあり問題ないのに、異物不良が多発して悩んでいます。」こうした声を多く聞く様になりました。これは、自工程で不良につながる粒子径や様態を確実に掴んでいないこと。また、パーティクルカウンターに頼った微粒子管理を優先していることが、要因として考えられます。
5~10~100μmと言った『粗大粒子』にも着目し、ゴミ・異物の見える化手法やパーティクルカウンターでは、計測し難い粒径や様態の検出手法、数値管理方法を述べて参ります。また、ゴミ・異物管理~対策において避けて通れない「静電気」にも目を向けて管理手法・対策手法を明らかにして参ります。
現場に戻り即役立つ情報・技術・管理手法等を分かりやすく解説致します。ご質問や疑問点があるときは、質疑応答時間若しくは 終了後メールにてお寄せください。多くのご質問をお待ちしております。一緒に考えて解決して行きましょう。
受講対象・レベル
(1) クリーンルーム環境での、製造業務に携わり2~3年の若手エンジニアや新人の方
(2) クリーンルーム環境での、製造に携わり、現場キーマンをめざす方、中堅、新人の方
(3) これから異物対策に携わる管理・監督者の方
(4) ゴミ・異物不良でお困りの方
(5) ゴミ・異物を嫌う、ものづくり環境の構築に取組む方
必要な予備知識
(1)この講義を受講のために、事前知識や準備は必要ありません。
(2) 初心者・新人の皆さんにも理解できる様、資料にも工夫しております。
(3) 実際の写真や動画を随所に挿入し、分かり易く解説致します。
(4) 現在抱える、課題・疑問等あれば、
事前若しくは、当日ご紹介いただければ、講義の中で事例研究として展開させていただきます。
習得できる知識
(1) クリーンルーム環境の管理手法と実務(清掃のあり方、方法)
(2) ゴミ・異物の見える化手法と粗大粒子の捉え方と数値管理手法
(3) 防塵衣のあり方と管理、防塵衣の選定方法 等
(4) ゴミ・異物対策を進める上での静電気対策の考え方
(5) その他(クリーン化技術全般に渡る知識、事例紹介)
セミナープログラム
1-1 なぜ、クリーン化が求められるのでしょうか。
1-2 クリーンルームの導入効果とは
1-3 加速するクリーン化の要求
1-4 ものづくり環境はどうあるべきなのか。
(1)良い清浄環境とは?良い製造環境とは?
1-5 クリーン化関連技術マップの解説
1-6 クリーンルームの目的とは
1-7 クリーンルームの活用事例
1-8 クリーンルームの分類
1-9 クリーンルームのはじまり~歴史
1-10 クリーンルームの定義
1-11 クリーンルーム環境の留意点
1-12 クリーンルームの方式と特徴
1-13 2つの清浄化メカニズム
1-14 HEPA/ULPAフィルターとは
1-15 エアーフィルターの捕集原理と捕集効率
1-16 なぜ、クリーン化四原則なのか
1-17 クリーン度の表し方/クラス比較
1-18 クリーンルームの日常管理 等
2.クリーンルームの清掃と見える化機器の活用管理 【目安50分】
2-1 クリーン化における清掃は技術として捉えよう
2-2 この差ってなんですか?:掃除と清掃の違いって分かりますか。
2-3 クリーンルームの清掃の目的と意義
2-4 「3つ」の管理POINTと標準化:いつ?誰が?どうやって?
2-5 生産環境における清浄化対象箇所とは
2-6 清掃はいつやるのが良いのか? :始業時?終業時?昼休み前後?
2-7 クリーン化の四原則における清掃の位置付け:除去/排除する
2-8 クリーンルームの占有状態と言う捉え
2-9 清浄化の重点箇所と留意点:加工点/保管場所/搬送系
2-10 「見える化機器」の活用法
2-11 なぜ、見える化が必要なのか
2-12 気流の可視化も重要。:浮遊異物は気流によって運ばれる。
2-13 クリーンルームの清掃方法
(1)清掃作業員の適正化も大切
(2)清掃方法の分類と方法:日常/定期/特別と言う捉え
(3)清掃方法に関する留意事項:清掃し易い環境をつくる
(4)清掃の手順はどうするのか。
(5)清掃資材の汚れ状態も確認しよう
(6)清掃用具類のあり方
(7)清掃方法の効果と比較
(8)静電気による粒子付着に対する清掃POINT
(9)粘着マットの剥がし方にも注意を! 等
3. 防塵衣の管理と身近な発塵源と発塵対策 【目安60分】
3-1 なぜ、防塵衣を着るのでしょうか。
3-2 防塵衣の適正化に取組む各メーカー
3-3 人間の動作と発塵量
3-4 クリーンルーム内のゴミ・異物の割合は?
3-5 皮膚からの発塵の抑制の考え方
3-6 防塵衣に求められる性能
3-7 織り込み導電繊維の効果って知ってますか。
3-8 防塵衣の性能を発揮するには?
3-9 防塵衣着用時の発塵機構を知ろう。
3-10 動作発塵評価方法と評価事例ご紹介
3-11 ポンピング発塵データご紹介
3-12 評価環境と機器類とは
3-13 防塵衣クリーニングのあり方:専用クリーニングとは
3-14 身近な発塵源と発塵対策:粗大粒子の捉え
(1)身近な発塵源の状況可視化:動画でご紹介
(2)クリーンルーム内で使用する資材の評価と評価方法/データ
(3)粗大粒子と言う捉え
(4)クリーンルームの中には、5μm以上の異物はないのでしょうか。
(5)自工程で不良につながる異物粒径を知ろう
(6)粗大粒子による影響が大きい現実
(7)粗大粒子が原因となった不良事例ご紹介
(8)JISによる粒子の分類と定義
(9)微粒子と粗大粒子の挙動/振る舞いの違いとは
(10)気中パーティクルカウンターの特性
(11)パーティクルカウンターの吸引量による違いを知ろう
(12)ゴミ・異物の大きさと挙動の認識(鉄1kgと綿1kgどっちが重い?)
(13)粗大粒子対策は換気回数を上げても、減少しない。
(14)粗大粒子は見える化出来る!
(15)粗大粒子の見える化から数値化/数値管理法
(16)ISO-14644シリーズ規格
(17)ISO-14644-9表面清浄度規格:SCP規格
(18)ISO準拠 粗大粒子測定器:落下塵カウンターの概要 等
4. クリーン化・異物対策における静電気対策 【目安80分】
4-0 なぜ、クリーン化において、なぜ静電気に注力しなければいけないのか?
4-1 電気とは・・・(動電気/静電気)
4-2 静電気の基本(静電気の発生と静電気要因不良)
4-3 静電気対策方法:考え方
4-4 イオナイザーの種類と特性:選択ミスは不良につながる。
4-5 除電のメカニズム
4-6 イオナイザー使用時の注意点
4-7 作業環境(湿度)と静電気の発生
4-8 静電気対策は、費用が掛かる?
4-9 静電気対策事例:良い事例/悪い事例:対策方法事例紹介
4-10 後戻りしない対策のあり方 :まとめ
□質疑応答□
セミナー講師
ザッツ ブレイン 代表 矢島 良彦 氏
NCC(株) 生産環境クリーン化事業部 チーフコーディネーター
<経歴>
元・セイコーエプソン(株) クリーン化技術専門部会リーダー
元・シーズシー(有) 技術顧問
セミナー受講料
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55,000円( E-mail案内登録価格52,250円 )
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受講、配布資料などについて
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配布資料
- PDFテキスト(印刷可・編集不可)
※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です
開催日時
10:30 ~
受講料
55,000円(税込)/人
※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます
※銀行振込 または、当日現金でのお支払い
開催場所
全国
主催者
キーワード
クリーンルーム 5S 生産マネジメント総合
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