半導体製造の化学機械研磨(CMP)技術の概要とCMP後洗浄の特徴~今後の動向

CMPの原理・装置構成などの基礎から入り、特に重要度の高いCMP後洗浄に焦点を当てCMP独特の洗浄課題と解決策をわかりやすく解説! 

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    セミナー趣旨

      電子媒体であるチップ構造は、微細化一辺倒から三次元化も含めて形態の複雑化、使用される材料の変化が継続的に進められております。半導体製造工程の一つであるCMP技術においては、微細化に伴う、平坦性、欠陥抑制は更なる厳しい値が求められており、新たな構造や材料の変化にも対応しなければなりません。今回の講演では、CMP装置の基本的な構造を述べ、特にCMP後の洗浄については一般の半導体洗浄との違い、CMP独特な洗浄課題と解決策などについてわかりやすく解説します。

    受講対象・レベル

    半導体関連の会社に入社されてから2~3年の若手技術者や新人(デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカー、
    純水・薬液メーカー、分析機器メーカーなど)の方。半導体専攻の学生の方など

    必要な予備知識

    半導体の前工程プロセスを中心に話しますが、特に前工程の予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。

    習得できる知識

    ・半導体製造工程のCMP、洗浄の基礎知識
    ・半導体製造工程のCMP、洗浄の基礎知識の最新動向
    ・今後の配線工程の課題と展望
    など

    セミナープログラム

    1.はじめに・・・2030年に向けたSEMI・CMP市場
    2.半導体製造におけるCMP工程の概説
     1)CMP(Chemical Mechanical Polisher/Planarization)とは
     2)CMPの研磨部の基本構成
      a)原理
      b)研磨ヘッドの種類と歴史
      c)エンドポイントセンサの種類、機能、用途、特徴
      d)装置構成(研磨部、洗浄部、搬送部)
    3.半導体業界の洗浄工程について
     1)工程数(Logic、NAND、DRAM)
    4.一般洗浄とCMP後の洗浄
    5.Cu洗浄と腐食
    6.今後のCMP後洗浄
    7.まとめ
    <質疑応答>


    ※途中、小休憩を挟みます。

    セミナー講師

     株式会社荏原製作所 精密・電子カンパニー 装置事業部 技術マーケティング課    今井 正芳 氏

    ■ご略歴
    1985年 大日本スクリーン製造(現SCREENホールディングス)に入社、当初拡散炉の開発に従事。
    1989年 洗浄装置研究開発に異動し主に枚葉洗浄プロセス開発に従事。
                 一時、米国出向、Selete出向を経て、マーケティング部門に転向。
    2010年 荏原製作所に入社、主にCMPの後洗浄プロセス技術開発に従事。
    2022年からマーケティング部門に異動し、現在に至る。
    社外活動;2002~2006 SEAJウェーハプロセスWG 委員(委員長含む)
    2005~2009 STRJ WG4(配線) 委員
    2017~ ADMETA委員(チュートリアル委員長含む)

    セミナー受講料

    1名36,300円(税込(消費税10%)、資料付)
    *1社2名以上同時申込の場合、1名につき25,300円
    *学校法人割引;学生、教員のご参加は受講料50%割引。

    受講について

    • 配布資料は、印刷物を郵送で1部送付致します。お申込の際はお受け取り可能な住所をご記入ください。
      お申込みは4営業日前までを推奨します。
      それ以降でもお申込みはお受けしておりますが(開催1営業日前の12:00まで)、
      テキスト到着がセミナー後になる可能性がございます。
    • 資料未達の場合などを除き、資料の再配布はご対応できかねますのでご了承ください。
    • 受講にあたってこちらをご確認の上、お申し込みください。
    • Zoomを使用したオンラインセミナーです
      →環境の確認についてこちらからご確認ください

     


     

    受講料

    36,300円(税込)/人

    ※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

    開催日時


    13:00

    受講料

    36,300円(税込)/人

    ※本文中に提示された主催者の割引は申込後に適用されます

    ※銀行振込、コンビニ払い

    開催場所

    全国

    主催者

    キーワード

    半導体技術   機械加工・生産   洗浄技術

    ※セミナーに申し込むにはものづくりドットコム会員登録が必要です

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    36,300円(税込)/人

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    キーワード

    半導体技術   機械加工・生産   洗浄技術

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