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■グラフェン形成・合成技術■ ■CVDグラフェンの転写技術■ ■グラフェンの評価技術■
■グラフェンの高機能化技術■ ■グラフェンの応用、産業化■
■ドーピングや積層、複合化による高機能化技術、原子層の評価技術■
★ アーカイブ配信のみの受講もOKです。
★ キャリア移動度がSiの100倍以上、熱伝導度が銅の10倍以上等の優れた物性を持つグラフェン!
★ 透明導電膜や電子・光デバイス、エネルギー応用への展開、実用化への課題・今後への期待とは!
※Live受講に加えて、アーカイブでも1週間視聴できます
【アーカイブの視聴期間】2024年8月30日(金)~9月5日(木)まで
セミナー趣旨
グラフェンは原子層であるために扱いが困難です。本セミナーでは、グラフェンの特徴や合成方法、CVDグラフェン特有の転写技術、物性を引き出す構造作製の要素技術を、実験室レベルでの扱い方も含めて紹介します。さらに、ドーピングや高移動度化技術、原子層の評価技術を解説し、透明導電膜や電子デバイス、エネルギー応用への展開を説明します。最後に、実用化への課題や今後への期待を述べます。
習得できる知識
・グラフェンのCVD合成技術
・CVDグラフェンの転写技術
・グラフェンの評価原理と技術
・グラフェンへのドーピング技術
・グラフェンの積層化技術
・グラフェンの応用展開
セミナープログラム
1.グラフェンの特徴
1.1 電気的特性
1.2 光学的特性
1.3 バリア性
2.グラフェン形成・合成技術
2.1 機械剥離法
2.2 酸化グラフェンの還元法
2.3 熱CVD法
2.4 プラズマCVD法
2.5 実験室での具体例
2.6 連続CVD合成技術
3.CVDグラフェンの転写技術
3.1 実験室での具体例
3.2 大面積転写技術・連続転写技術
4.グラフェンの評価技術
4.1 ラマン分光法による欠陥・層数・応力の評価
4.2 バックゲート型FET構造を用いた電気特性評価
5.グラフェンの高機能化技術
5.1 CVDグラフェンへのドーピング技術
5.2 CVDグラフェンの加工技術
5.3 CVDグラフェンへの高移動度化技術
5.4 酸化グラフェンの構造制御技術
6.グラフェンの応用
6.1 透明導電膜
6.2 バリア膜・保護膜
6.3 デバイス・センサ応用
6.4 エネルギー分野応用探索
7.グラフェン産業化への課題
8.まとめ
□質疑応答□
セミナー講師
(国研)産業技術総合研究所 ナノカーボンデバイス研究センター 研究チーム長 山田 貴壽 氏
<経歴>
1998年3月 東海大学大学院工学研究科博士前期課程電子工学専攻 修了
1998年4月 青山学院大学理工学部電気電子工学科 助手
2003年4月 東北大学多元物質科学研究所 助手
2004年1月 産業技術総合研究所 ダイヤモンド研究センター
2010年4月 同 ナノチューブ応用研究センター
2015年3月 同 ナノ材料研究部門
2022年4月 同 ナノカーボンデバイス研究センター
<研究内容>
グラフェン、ダイヤモンド、窒化ホウ素、電気特性評価、仕事関数、電子放出、光電子分光、CVD、ドーピング、センサー
<WebSite>
https://unit.aist.go.jp/ncdrc/ja/groups/twodmat.html
セミナー受講料
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受講について
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配布資料
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