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（１）ゴミを持ち込まない
“ゴミを持ち込まない”について、ポイントとなる部分を説明します。ここでは、クリーンルームに入室してからのことを説明します。
前回のクリーン化について（その163）クリーン化の基礎（その２５）クリーン化４原則の続きです。
【事務用品・筆記具からの発塵】
この写真はボールペンからの発塵データです。
写真説明:ノック式ボールペンからの発塵データ
昔は技術や品質部門のメンバーが現場に入る時、自身の筆記具を持ち込むことがありました。今でもあるかも知れません。そして作業者に話し掛けながら、ボールペンをカチャカチャやっているのです。その様子を見て、“ボールペンは何をするものだろう” と違和感を覚えたものです。もしその下に製品があったらどうなるのか気になったのです。
もちろん、品質問題や様々な情報をメモする目的で持ち込むのでしょうが、そうではない使い方をしているのです。それをきっかけに発塵調査をしてみました。もう３０年以上前のことです。この写真は、奇麗なウエハ（ミラーウエハ）の上でノックしてゴミを採取し、これを測定機で粒径別にカウントしたもの。写真の最上段は、当時作業者に貸与していたキャップ式のもので、ゴミはほとんど発生しません。下の２つはノック式で、比較的安価なものです。主な部品の構成はプラスチックです。これらのタイプでは１ミクロンを超える粒径のゴミがやや出ました。
一方、下の２つはノック式ですが、全体が金属製で高級感があるものでした。ゴミは１ミクロンから２．５ミクロンを超えるものが、異常に多くカウントされました。これは...
